CVD SIC estalitako grafito burua

VetekemicIn CVD Sic estalitako grafitoaren gaineko azalera, bere zehaztasun-ingeniaritzako gainazalak gasaren banaketa uniformea ​​bermatzen du. -ASic estalduraHigadura erresistentzia eta oxidazioarekiko erresistentzia areagotzeaz gain, zerbitzu-bizitza luzatzen du prozesu baldintza gogorren azpian.

Wafer erdieroaleen fabrikazioan, epitaxia eta film meheen gordailuan aplikatua, CVD SIC estalitako grafitoarentzako dutxa burua da.

VeteKEMI CVD Silikonazko Carbide dutxa burua garbitasun handiko lurrun kimikotik metatutako silizio karburoan fabrikatzen da eta CVD eta MOCVD prozesuetarako optimizatuta dago erdieroale, LED eta elektronika aurreratuen industrietan. Egonkortasun termiko aipagarrienak, korrosioarekiko erresistentzia eta gas banaketa uniformeak epe luzerako funtzionamendu egonkorra bermatzen du tenperatura altuko, oso korrosiboak, prozesuaren errepikagarritasuna eta errendimendua nabarmen hobetzen ditu.

VetekemicIn CVD SIC estalitako grafitoa

● Garbitasun eta dentsitate ultra-altua

CVD SIC estalitako grafitoaren dutxa burua garbitasun handiko CVD prozesua erabiliz fabrikatzen da,% 99,9995eko garbitasun material bat ziurtatuz, metalezko ezpurutasunak ezabatuz. Bere egitura ez denak, modu eraginkorrean gasaren simajarra eta partikulen isurketa ekiditen ditu, oso garbitasun handiko epitaxia eta ontziratze prozesu aurreratuetarako aproposa bihurtuz. SIC edo grafito osagai tradizionalekin alderatuta, gure produktuak errendimendu egonkorra mantentzen du tenperatura altuko funtzionamendu luzea egin ondoren, mantentze maiztasuna eta ekoizpen kostuak murriztuz.

● Egonkortasun termiko bikaina

Tenperatura altuko CVD eta MOCVD prozesuetan, ohiko materialak deformazio edo pitzaduraren eraginak dira estres termikoaren ondorioz. CVD SIC dutxa-buruak 1600 ºC-ko tenperaturak jasaten ditu eta hedapen termikoaren koefiziente oso baxua du, tenperatura azkarreko egiturako egonkortasuna handitzen eta gutxitzen dela ziurtatuz. Eragiketa termiko uniformea ​​are gehiago, tenperatura banaketa optimizatzen du erreakzio-ganberaren barruan, gordailuen tasa desberdintasunak minimizatzea wafer ertzaren eta zentroaren artean, eta film uniformetasuna hobetzea.

● Plasma antima korrosioa

Grabaketa edo deposizio prozesuetan, gas korrosiboak (CF adibidez)₄, Cl₂eta HBR) azkar kobazulo edo grafito osagaiak azkar higatzen dira. CVD SIC materialak salbuespenezko korrosioarekiko erresistentzia erakusten du plasma inguruneetan, bizitza konbentzionalen 3-5 aldiz. Benetako bezeroen azterketak frogatu du 2000. urtean etengabeko funtzionamendua izan ondoren, poro tamainaren aldakuntza% 1 barruan geratzen dela, epe luzeko gasaren fluxu banaketa egonkorra bermatuz.

● Bizitza luzea eta mantentze kostu txikia

Grafito tradizionalen osagaiek maiz ordezkatzea eskatzen duten bitartean, CVD dutxako buruak SIC estalitakoak errendimendu egonkorra mantentzen du ingurune gogorretan ere. Horrek kostu orokorrak% 40 baino gehiago murrizten ditu. Gainera, materialaren indar mekaniko altuak manipulazioan edo instalazioan ustekabeko kalteak ekiditen ditu.

● Kate Ekologikoa egiaztatzeko abala

VETEKEMIMIn CVD Silicon Carbide "Katearen egiaztapen ekologikoak lehengaiak produkziora estaltzen ditu, nazioarteko ziurtagiri estandarra gainditu du eta patentatutako teknologia ugari ditu erdieroale eta energia-eremu berrietan fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Parametro teknikoak

Proiektu	Parametro
Material	CVD SIC (estaldura aukerak eskuragarri)
Diametroaren barrutia	100mm-450mm (pertsonalizagarria)
Lodiera tolerantzia	± 0,05mm
Gainazalaren zimurtasuna	≤0.2μm
Prozesu aplikagarria	CVD / MOCVD / PECVD / EPITAXY / EPITAXY

Aplikazio-eremu nagusiak

Aplikazioaren norabidea	Eszenatoki tipikoa
Erdieroaleen fabrikazioa	Silizio epitaxia, gan / gaas gailuak
Potentzia elektronika	Sic ogien ekoizpen epitaxiala
Jese egin	MOCVD Sapphire Substratuaren gordailua
Ikerketa Zientifikoko Ekipamenduak	Zehaztasun handiko film meheko deposizio sistema

Kate Ekologikoa egiaztatzeko abala

VETEKEMIMIn CVD Silicon Carbide "Katearen egiaztapen ekologikoak lehengaiak produkziora estaltzen ditu, nazioarteko ziurtagiri estandarra gainditu du eta patentatutako teknologia ugari ditu erdieroale eta energia-eremu berrietan fidagarritasuna eta iraunkortasuna bermatzeko.

Zehaztapen tekniko zehatzak, paper zuriak edo laginak probatzeko moldaketak egiteko, mesedezJarri harremanetan gure laguntza teknikoko taldearekinVetekemicer-ek zure prozesuaren eraginkortasuna nola hobetu dezakeen aztertzeko.