EPI Supporter

Vetek erdieroalea Txinako EPI arduratu da, Ald Planetary Tugor eta Tac estalitako grafitoen fabrikatzaile profesionala. eta Gure EPI laguntza osagai garrantzitsua daHazkunde epitaxialaErdieroaleen fabrikazio prozesuan. Bere funtzio nagusia ogia babestea eta berotzea da, kalitate handiko geruza epitaxial bat wafer gainazalean modu uniformean egon dadin.

Vetek erdieroaleen "EPI Susceptors-ek normalean garbitasun handiko grafitoz osatuta daude eta silizio karburo geruza batekin estalita daude (SIC).Diseinu honek funtsezko abantaila hauek ditu:

● Tenperatura altuko egonkortasuna: EPI suszeptorea egonkorra izan daiteke tenperatura handiko ingurunean, geruza epituxialaren hazkunde uniformea ​​bermatuz.

● Korrosioarekiko erresistentzia: SIC estaldurak korrosioarekiko erresistentzia bikaina du eta gas kimikoen higadurari aurre egin diezaioke, erretiluaren zerbitzuaren bizitza luzatuz.

● eroankortasun termikoa: SIC materialaren eroankortasun termiko altuak tenperatura uniformearen berogailuan banatzen du, eta horrela, geruza epituxialaren kalitatea hobetu da.

● Hedapen termikoko koefizientea: SIC hedapen termikoa grafitoaren antzekoa da, estalduraren arazoa saihestuz, hedapen termikoa eta uzkurdura dela eta.

Oinarrizko propietate fisikoakCvd sic estaldura:

CVD SIC Estaldura Produkzio Denda:

Epitaxia industria kate erdieroalearen ikuspegi orokorra: