Artikuluak karbonoaren sentimenduen propietate fisiko bikainak deskribatzen ditu, SIC estaldura aukeratzeko arrazoi espezifikoak eta Karbono Sentiko SIC estalduraren metodoa eta printzipioa. Zehazki, D8 V. Ray X-Ray Difractometroaren (XRD) erabiltzea aztertzen du, SIC estalduraren karbonoaren feltroaren fasea aztertzeko.
SIC kristal bakarrak hazteko metodo nagusiak hauek dira: lurrunaren garraio fisikoa (PVT), tenperatura handiko lurrun kimikoen gordailua (HTCVD) eta tenperatura altuko irtenbide hazkundea (HTSG).
Eguzki industria fotovoltaikoaren garapenarekin, difusio labeak eta LPCVD labeak dira eguzki-zelulak ekoizteko ekipamendu nagusiak, eguzki-zelulen errendimendu eraginkorrean zuzenean eragiten dutenak. Produktuen errendimendu eta erabilera kostu integralean oinarrituta, silizio karburo zeramikazko materialek abantaila gehiago dituzte eguzki zelulen eremuan kuartzoko materialak baino. Industri fotovoltaikoan silizio karburo zeramikazko materialak aplikatu ahal izango ditu industria fotovoltaikoei materialen inbertsioen kostuak murrizten, produktuen kalitatea eta lehiakortasuna hobetzen ditu. Eremu fotovoltaikoan silizio karburo zeramikazko materialen etorkizuneko joera garbitasun handiagoa, karga handiagoa duten gaitasuna, kargatzeko ahalmen handiagoa eta kostu txikiagoa dira.
Artikuluak CVD TaC estaldura-prozesuak erdieroaleen prozesatzeko SiC kristal bakarreko hazkuntzarako dituen erronka espezifikoak aztertzen ditu, hala nola, materialaren iturria eta purutasunaren kontrola, prozesu parametroen optimizazioa, estalduraren atxikimendua, ekipoen mantentzea eta prozesuen egonkortasuna, ingurumena babestea eta kostuen kontrola, besteak beste. baita dagozkion industriako irtenbideak ere.
SIC kristalen hazkundearen aplikazioaren ikuspegitik, Tac estalduraren eta SIC estalduraren oinarrizko parametro fisikoak alderatzen ditu eta TAC estalduraren oinarrizko abantailak azaltzen ditu SIC estalduraren gaineko tenperatura altuko erresistentziari, egonkortasun kimiko sendoa, ezpurutasun murriztuak eta ezpurutasun murriztuak eta Kostu txikiagoak.
Neurketa-ekipamendu mota ugari daude fabrika fabrikan. Ekipamendu arruntak litografia prozesuen neurketa ekipamendua, grabaketa prozesua neurtzeko ekipoak, Zinema metalikoen depositazio prozesua neurtzeko ekipoak, doping prozesua neurtzeko ekipamendua, CMP prozesua neurtzeko ekipoak, waffer partikulak hautemateko ekipoak eta neurketa ekipamenduak ditu.
Tantalum Carbide (TAC) estaldurak grafitoen bizitza nabarmen luzatu dezake tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, propietate mekanikoak eta kudeaketa termikoko gaitasunak hobetuz. Garbitasun handiko ezaugarriak garbitasun kutsadura murrizten dute, kristalen hazkuntzaren kalitatea hobetzen dute eta energia eraginkortasuna hobetzen dute. Tenperatura handiko eta kristal hazkuntzarako aplikazioetarako egokia da tenperatura handiko ingurune oso korrosiboan.
Tantalum Carbide (TAC) estaldurak oso erabiliak dira batez ere hazteko erreaktoreen osagaiak, tenperatura handiko hazkundearen osagai nagusiak, tenperatura handiko industria-osagaiak eta ogitartekoak. Tenperatura altuko erresistentzia bikaina eta korrosioarekiko erresistentzia hobetu dezake ekipoen iraunkortasuna, errendimendua eta kalitatea, energia kontsumoa murrizteko eta egonkortasuna hobetzeko.
SIC hazkunde epitaxial prozesuan, SIC estalitako grafito esekidura gutxiegitzea gerta daiteke. Artikulu honek SIC estalitako grafitoaren esekidura porrotaren azterketa zorrotza egiten du, batez ere bi faktore biltzen dituena: SIC Epitaraxial Gas Hutsegitea eta SIC estalduraren porrota.
Artikulu honetan dagozkien prozesuaren abantailak eta habe molekularreko epitaxia prozesuaren eta metalezko produktu kimikoen metalikoen desberdintasunak eztabaidatzen ditu.
Vetek erdieroalearen karburoa porotsua, SIC kristal hazkunde materialaren belaunaldi berri gisa, produktuaren propietate bikainak ditu eta funtsezko eginkizuna du prozesatzeko prozesatzeko teknologia ugari.
Epitarxo labearen lan printzipioa tenperatura altuko eta presio altuko substratu batean material erdieroaleak gordetzea da. Silizioaren hazkunde epitaxiala kristal geruza bat haztea da, substratuaren orientazio berdina eta siliziozko kristalezko kristal bakarreko substratuaren inguruko lodiera desberdinak. Artikulu honek batez ere silizio epitaxial hazkunde metodoak aurkezten ditu: EPITAXIA EPITAXIA ETA EPITAXIA LIKIDOAREN FASEA.
Epaiketa kimikoen gordailua (CVD) erdieroaleen fabrikazioan zinema-material meheak ganbaran gordetzeko erabiltzen da, SiO2, bekatua eta abar barne, eta normalean erabilitako moten artean PECVD eta LPCVD dira. Tenperatura, presioa eta erreakzio gas mota egokituz, CVDk garbitasun altua, uniformetasuna eta zinema estaldura ona lortu ditu prozesuko eskakizun desberdinak betetzeko.
Artikulu honetan, batez ere, silizio karburo zeramikaren aplikazio aukera zabalak deskribatzen dira. Silizio karburo zeramikazko zeramikazko pitzadurak eta dagozkien soluzioen kausak aztertzea ere oinarritzen da.
Cookieak erabiltzen ditugu nabigazio esperientzia hobea eskaintzeko, guneko trafikoa aztertzeko eta edukia pertsonalizatzeko. Gune hau erabiltzean, gure cookieen erabilera onartzen duzu. Pribatutasun politika