Industria Berriak

Banda zabaleko (WBG) erdieroaleen munduan, fabrikazio-prozesu aurreratua "arima" bada, grafitoaren suszeptorea "bizkarrezurra" da, eta gainazaleko estaldura "azala" kritikoa.

Potentzia-elektronikako apustu handien munduan, Silizio Karburoa (SiC) eta Galio Nitruroa (GaN) iraultza bat burutzen ari dira: Ibilgailu Elektrikoetatik (EV) energia berriztagarrien azpiegituretara. Hala ere, material hauen gogortasun eta inertetasun kimiko mitikoek fabrikazio-botoi-lepo ikaragarria dute.

Erdieroaleen fabrikazioan, Planarizazio Kimiko Mekanikoko (CMP) prozesua obleen gainazaleko planarizazioa lortzeko oinarrizko etapa da, ondorengo litografia-urratsen arrakasta edo porrota zuzenean zehazten duena. CMP-ko kontsumigarri kritikoa denez, leuntzeko mindaren errendimendua kentze-tasa (RR) kontrolatzeko, akatsak minimizatzeko eta etekin orokorra hobetzeko azken faktorea da.