Berriak

Kalitate handiko eta errendimendu handiko silizio karburo substratuak prestatzerakoan, muina ekoizpen tenperaturaren kontrol zehatza behar da eremu termiko onek. Gaur egun, eremu termikoak batez ere erabiltzen diren kit termikoak garbitasun handiko grafitoak dira.

Hirugarren belaunaldiko erdieroaleak ikusten dituzunean, ziur izango zara zein izan diren lehenengo eta bigarren belaunaldiak. Hemen "belaunaldia" erdieroaleen fabrikazioan erabilitako materialen arabera sailkatzen da.

Chuck elektrostatikoa (ESC), Chuck elektrostatikoa (ESC, E-Chuck) bezala ere ezaguna da, adsorzio elektrostatikoaren printzipioa erabiltzen duen eta adsorbatutako materiala konpontzeko eta konpontzeko. Hutsean eta plasma inguruneetarako egokia da.