QR kodea
Guri buruz
Produktuak
Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra

Faxa
+86-579-87223657

Posta elektronikoa

Helbidea
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Probintzia, Txina
Silizio karburoa (SiC) PVT hazkundeaziklo termiko larria dakar (2200 ℃-tik gorako giro-tenperatura). Estalduraren eta grafito-substratuaren artean sortzen den tentsio termiko izugarria dilatazio termikoko koefizienteen (CTE) ez-egokitzearen ondorioz estalduraren iraupena eta aplikazioaren fidagarritasuna zehazteko erronka nagusia da. Interfazearen ingeniaritza aurreratua gakoa da tantalio karburoko estaldurak muturreko baldintzetan pitzatzen edo deslaminatzen ez direla ziurtatzeko.
1. Interfazialaren estresaren oinarrizko erronka
Hedapen termikoan alde nabarmena dago grafitoaren eta tantalioaren karburoaren artean (grafitoa CTE: ~1–4 ×10⁻⁶ /K; TaC CTE: ~6,5 ×10⁻⁶ /K). Shock termikoko ziklo errepikatuetan, estalduraren eta substratuaren arteko kontaktu fisikoan soilik fidatzea zaildu egiten da epe luzerako lotura-egonkortasuna mantentzea. Pitzadurak edo espalazioak ere erraz gerta daitezke, eta estaldurak babes-funtzioa galtzen du.
2. Interfazeen Ingeniaritzaren Soluzio Hirukoitza
Teknologia modernoek estres termikoko erronkak estrategien konbinatuen bidez ebazten dituzte, diseinu bakoitzak estresa sortzeko mekanismo nagusira zuzenduta:
|
Interfazearen Ingeniaritza Teknika |
Helburu nagusia eta metodoa |
Lortutako efektu mekanikoa |
|
Gainazalaren zakartze tratamendua |
Grafitoaren gainazalean mikro-eskalako egitura zakarrak sortzea hareaz egindako edo plasma bidezko grabaketa bidez |
Bi dimentsioko kontaktu planoa hiru dimentsioko elkarloketa mekaniko bihurtzen du, ebakidura-erresistentzia nabarmen hobetuz. |
|
Gradiente-geruza funtzionalak sartzea |
Trantsizio-geruza bat edo gehiagoren (adibidez, karbono handiko geruzak edo SiC geruzak) grafitoaren eta TaCren artean deposizioa |
CTE bat-bateko bat-etortze-desegokitasuna murrizten du, interfazialaren estres-gradiente kontzentratuak birbanatzen ditu eta estres-gailurrak eragindako hutsegiteak saihesten ditu. |
|
Estalduraren mikroegituraren optimizazioa |
CVD prozesuaren kontrola zutabe-ale-egiturak osatzeko eta hazkuntza-estresa arintzeko |
Estaldurak berak tentsio-tolerantzia handiagoa du eta tentsioaren zati bat xurga dezake pitzatu gabe |
3. Errendimenduaren egiaztapena eta epe luzerako portaera
Goiko interfazearen ingeniaritza ikuspegiekin diseinatutako estaldura sistemen fidagarritasuna proba kuantitatiboen bidez ebaluatu daiteke:
Atxikimendu proba:Optimizatutako estaldura-sistemek normalean 30 MPa baino handiagoak izaten dituzte interfazial lotura-indarrak. Porrot-moduak askotan grafito-substratuaren haustura gisa agertzen dira, estaldura delaminazioa baino.
Shock termikoaren zikloaren probak:Kalitate handiko estaldurek PVT prozesua simulatzen duten muturreko 200 ziklo termiko baino gehiago jasan ditzakete (giro-tenperaturatik 2200 ℃ baino gehiagora), osorik mantenduz.
Benetako zerbitzu-bizitza:Masa-produkzioan, interfazearen ingeniaritza aurreratua erabiltzen duten estalitako osagaiek zerbitzu-bizitza egonkorra lor dezakete 120 kristalen hazkuntza-ziklo baino gehiago, estali gabeko edo estalitako osagaiak baino hainbat aldiz luzeagoak.

4. Ondorioa
Epe luzera arteko lotura egonkorra material sistematikoen eta ingeniaritza-diseinuaren emaitza da kasualitatea baino. Interblokeo mekanikoaren, estresaren bufferaren eta mikroegituraren optimizazioaren aplikazio konbinatuaren bidez, tantalio karburozko estaldurak eta grafitozko substratuek elkarrekin jasan dezakete PVT prozesuaren shock termiko larria, kristalen hazkuntzarako babes iraunkor eta fidagarria eskainiz. Aurrerapen teknologiko honek eremu termikoko osagaien iraupen luzeko eta kostu baxuko funtzionamenduaren oinarria da eta masa-ekoizpen egonkorra izateko oinarrizko baldintzak ezartzen ditu. Hurrengo artikuluan, tantalio karburoaren estaldurak PVT kristalen hazkuntzaren industrializaziorako egonkortasunaren oinarri bihurtzen diren aztertuko dugu. Interfazearen ingeniaritzari buruzko xehetasun teknikoak lortzeko, jarri harremanetan talde teknikoarekin webgune ofizialaren bidez kontsultatzeko.


+86-579-87223657


Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Probintzia, Txina
Copyright © 2024 WuYi TianYao Material aurreratua Tech.Co.,Ltd. Eskubide guztiak erreserbatuta.
Links | Sitemap | RSS | XML | Pribatutasun politika |
