Difusio-laberako kuartzozko hodia

1. Ezaugarri nagusiak eta abantailak

• Garbitasun ultra handiko kuartzo fusionatu dehidroxilatua (SiO₂ ≥ 99,999%) metalezko ezpurutasunak ppb mailan kontrolatuta eta hidroxilo eduki oso baxuarekin

• Epe luzeko funtzionamendu-tenperatura 1100 °C arte; epe laburreko erresistentzia gailurra 1200 °C-ra arte

• Kolpe termikoen erresistentzia bikaina tentsioa arintzeko errezistuaren ondoren, tenperatura-aldaketa azkarrean pitzatzearen erresistentea.

• Prozesuko gas oxidatzaile, erreduzitzaile eta halogenoen aurkako inertetasun kimiko nabarmena; plasma eta atmosfera korrosiboetarako egokia

• Oso hutsean kanporatzea; Barneko horma leunak azpiproduktuen pilaketa murrizten du eta prozesuaren errepikakortasuna onartzen du

• Pieza bakarreko konformazioa hormaren lodiera uniformearekin, koaxialtasun handikoarekin eta doitasunez amaitutako muturrak zigilatzeko fidagarritasuna lortzeko

• Egitura pertsonalizagarriak: hodi zuzenak, hodi murriztaileak, bridadun hodiak, luzera hedatuak eta labe bertikal edo horizontaletarako muturreko konfigurazio bereziak.

2. Aplikazio tipikoak

VeTek kuartzozko labeko hodiak oso erabiliak dira nukleoko erreakzio-ganbera gisa:

• Oxidazio termikoko labeak (oxidazio lehorra/hezea)

• Dopatzailea sartzeko hedapen-labeak (B, P, As, etab.)

• LPCVD sistemak film meheen deposiziorako

• Hutsean errekostea eta tenperatura altuko tratamendu termikoko beste prozesu batzuk

• 4 hazbeteko, 6 hazbeteko, 8 hazbeteko eta 12 hazbeteko obleen plataformekin bateragarria (Si, SiC, GaN, zafiro substratuak)

Logika, memoria, potentzia-gailu, MCU, LED, MEMS eta banda zabaleko erdieroaleen fabrikazio-lerroak onartzen dituzte, tenperatura-uniformitate egonkorra, gas-fluxuaren kontrola eta prozesu-ingurune ultra-garbiak behar dituztenak.

3. Funtsezko Parametro Teknikoak

• Materiala: erdieroale-mailako kuartzo fusionatu dehidroxilatua (SiO₂ ≥ 99,999%), hidroxilo baxua, ezpurutasun metaliko baxua

• Obleen bateragarritasuna: 4 / 6 / 8 / 12 hazbeteko

• Epe luzeko lan-tenperatura: -20 °C eta 1100 °C artean; epe laburreko gailurra 1200 °C arte

• Prozesua: pieza bakarreko konformazio termikoa, hormaren homogeneizazioa, amaierako akabera, estresa arintzeko errekostea, helio-ihesaren proba, garbiketa ultra-garbia.

• Eskuragarri dauden egiturak: hodi zuzena, hodi erreduktorea, hodi bridatua, luzera / luzera pertsonalizatua, mutur bereziko konfigurazioak

• Pertsonalizazioa: barruko/kanpoko diametroa, luzera, hormaren lodiera, bridaren zehaztapenak eta geometria bereziak bezeroen marrazkien arabera

4. Zergatik aukeratu VeTek Quartz Labe-hodiak?

Erdieroaleen kuartzozko osagaien fabrikatzaile profesional gisa, VeTek Semiconductor-ek eskaintzen du:

• Garbitasun handiko kuartzozko labe-hodiak oxidaziorako, difusiorako, LPCVDrako eta errekozitzeko ekipoetarako diseinatutakoak.

• Garbitasun-kontrol zorrotza, zehaztasun dimentsionala eta garbitasuna 10. Klaseko / 100. Klaseko gela garbien ekoizpenerako egokiak

• Hodi-labe bertikal eta horizontaletarako pertsonalizazio osoa eta OEMekin bateragarriak diren diseinuak

• Erdieroaleen kuartzozko produktu osagarriak, obleak, arragoa, atorrak eta prozesuko beste osagai batzuk barne.

Gure kuartzozko labe-hodiek baldintza termiko eta gas-fluxu egonkorrak mantentzen laguntzen dute, partikulen eta metalen kutsadura minimizatzen dute eta zerbitzu-bizitza luzatzen dute tenperatura altuko etengabeko ziklopean, erdieroaleen prozesamendu termikoan errendimendu handiagoa eta jabetza-kostu txikiagoa onartzen dutenak.