Sic estaldura Ald suszeptorea

Erdieroalea daSic estaldura Ald suszeptoreafuntsezko eginkizuna du geruza atomikoaren gordailuan (Hil) Prozesua. Bere tenperatura kontrol zehatza, gasaren banaketa uniformea, erresistentzia kimiko altua eta eroankortasun termiko bikainak zinemaren gordailu prozesuaren uniformetasuna eta kalitate handia bermatzen du. Gehiago jakin nahi baduzu, berehala kontsultatu gaitezke eta denboran erantzungo dizugu!

Tenperatura kontrol zehatza:

Adar estalduraren sic estaldurak zehaztasun handiko tenperatura kontrolatzeko sistema izaten du normalean. Tenperatura uniforme ingurune bat mantentzeko gai da deposizio prozesuan zehar, funtsezkoa da filmaren uniformetasuna eta kalitatea bermatzeko.

Gas banaketa uniformea:

Ald Suscordor SIC estalduraren diseinu optimizatuak ALD deposizio prozesuan gasaren banaketa uniformea ​​bermatzen du. Bere egiturak normalean birakari edo mugimendu ugari biltzen ditu, xafla erreaktiboen estaldura uniformea ​​sustatzeko.

Erresistentzia kimiko altua:

Ald Prozesuak hainbat gas kimiko dakartza, Ald Sicepterrek korrosioarekiko erresistentziak (platinoa, zeramikak edo garbitasun handiko kuartzozkoak, esaterako), gas kimikoen higadurari aurre egiteko eta tenperatura altuko inguruneen higadurari aurre egiteko.

Eroankortasun termiko bikaina:

Bero modu eraginkorrean egiteko eta deposizio tenperatura egonkorra mantentzeko, SIC estaldura Ald suszeptoreek normalean eroankortasun termiko handiko materialak erabiltzen dituzte. Honek tokiko berritze eta desorekako desoreka ekiditen laguntzen du.

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak:

Ekoizpen dendak:

Epitaxia industria kate erdieroalearen ikuspegi orokorra：