SiC estaldura erdiko grafitozko piezak

SIC hazkunde epituxial labearen erreakzio-ganbaran, SIC estalduraren erdibideko grafitoen piezak funtsezko osagaiak dira gasaren fluxuaren banaketa, eremuaren kontrol termikoa eta erreakzio giroa uniformetasuna optimizatzeko. Normalean SIC estalduraz eginda daudegamale,Ilargi erdi forman diseinatua, erreakzio-ganberaren goiko eta beheko grafito zatietan kokatua, substratuaren eremua inguratzen duena.

    •Goiko erdiko grafito zatia: erreakzio-ganberaren goiko aldean instalatuta, gasaren sarreraren ondoan, erreakzio-gasa substratuaren gainazalera isuriko da.

    •Beheko erdiko grafito zatia: Erreakzio ganberaren behealdean kokatuta, normalean substratuaren titularraren azpitik, gasaren fluxuaren norabidea kontrolatzeko erabiltzen da eta substratuaren behealdean dagoen eremu termikoa eta gasaren banaketa optimizatzeko erabiltzen da.

Garaian zeharSic epitaxia prozesua, goiko ilargiaren goiko grafitoak gas-fluxua substratuan modu uniformean banatu ahal izateko, gasoak substratuaren gainazalean zuzenean eragina izan zuen eta tokiko berotzea edo aire-fluxua eragiten ditu. Beheko Ilargiaren Grafito Grafikoari esker, gasak leuntasunez isuriko dira substratuaren bidez eta gero alta eman, turbulentzia epituxial geruzaren hazkunde uniformetasunari eraginez eragotzi bitartean.

Eremu termikoaren erregulazioari dagokionez, SiC estaldura Halfmoon grafito zatiek erreakzio-ganberan beroa uniformeki banatzen laguntzen dute forma eta posizioaren bidez. Goiko ilargi erdiko grafitoaren zatiak berogailuaren bero distiratsua islatu dezake, substratuaren gaineko tenperatura egonkorra dela ziurtatzeko. Ilargi-erdiaren beheko grafitoaren zatiak ere antzeko eginkizuna du, bero-eroapenaren bidez substratuaren azpian beroa uniformeki banatzen laguntzen du gehiegizko tenperatura-desberdintasunak saihesteko.

SIC estaldurak tenperatura altuak eta termikoko eroaleak erresistenteak egiten ditu, beraz, Vetek erdieroaleen erdiko zatiek zerbitzu luzea dute. Arretaz diseinatuta, SIC Epitarxyrako gure ilargi erdiko grafito piezak ePituxial erreaktore askotan integratu daitezke, erdieroaleen fabrikazio prozesuaren eraginkortasun eta fidagarritasun orokorra hobetzen laguntzen du. Edozein dela ere zure SIC estalduraren erdibien piezak. Mesedez, jarri harremanetan Vetekeko erdieroalearekin.

WatersemiSiC estaldura erdiko grafitozko piezen dendak: