Nola aukeratu MOCVD grafito erretilua?

1. galdera: Zer da MOCVD grafito erretilua eta zergatik da hain garrantzitsua prozesu epituxialerako?

Metal-organikoko lurruneko gordailua (MOCVD) grafitoaren plaka, MOCVD grafito erretilua edo MOCVD grafitoaren susceptor izenaz ere ezaguna da, hazkunde epitaxikoan semukodorezko ogiak konpontzeko erabiltzen den garbitasun handiko osagaia da. Prozesu epitaxialean, berogailu elementu gisa jokatzen du eta tenperatura banaketa uniformea ​​bermatzen du. Horrek eginkizunik gabe jokatzen du film meheak metatzeko aplikazioetan, esaterako, erdieroaleen gailuak, LED fabrikazioa eta eguzki zelulak.

Grafito erretiluak muturreko tenperaturak jasan ditzake (gehienez 1.800 ºC) eta gas-ingurune korrosiboak, tenperatura altuko, korrosioarekiko erresistenteak diren MOCVD sistemetarako ezinbesteko materiala bihurtuz. Bere errendimenduak zuzenean prozesuaren koherentzia eta obraren errendimendua eragiten ditu.

2. galdera: Zein propietate material lehenetsi behar dira MOCVD grafito erretiluak hautatzerakoan?

Eskuineko grafito plaka hautatzeak bere propietate fisikoak eta kimikoak ebaluatzea eskatzen du:

● Garbitasun altua (% 99,999 baino gehiago):

Normalean, metalak edo errautsak bezalako ezpurutasunak prozesu epituxialak kutsatu ditzake. Purutasun handiko grafitoaren suszeptore hornitzaileak aukeratzeak, esaterako, VetekemicIn-ek Epilayer erdieroalearen gutxieneko akatsak bermatzen ditu.

●  Egonkortasun termiko bikaina:

Benetako prozesatzean, grafito platerak zenbait kolpe termiko jasan eta egiturazko osotasuna mantentzeko gai izan behar du tenperatura bizkorreko zikloetan. Dentsitate handiko grafitoak bero-banaketa uniformea ​​bermatzen du, funtsezkoa da filmaren hazkunde uniformea ​​lortzeko.

●  Korrosioarekiko erresistentzia bikaina:

MOCVD prozesuaren ingurunean, grafitoa orokorrean gas korrosiboen eraginpean dago (adibidez, amoniakoa, hidrogenoa). Tenperatura altuko korrosioarekiko erresistenteak MOCVD grafito-plakak egitura finarekin, korrosioa gutxitzen dute eta zerbitzuaren bizitza luzatzen dute.

●  Errendimendu handiko indar mekanikoa:

Prozesu epituxialean, MOCVD grafito erretiluak wafers bat baino gehiago babestu behar ditu okertu gabe. Vetekemicon-en estatistiken arabera, tramitazioan, grafito plateraren tolestura indarrak ≥50 MPA izan behar du erretilua pitzatzeko.

3.G.: Nola eragiten du aplikazioen agertokiak MOCVD grafito erretiluen aukeraketan?

MOCVD prozesu ezberdinek neurrira egindako grafito plakaren diseinuak behar dituzte:

●  LED / Fotonikaren hazkunde epitaxiala:

MOCVD grafikoen plaka ultra-leunak epituxia prozesuan erabiltzen dira partikulen sorrera murrizteko eta akatsik gabeko geruzak bermatzeko.

Adibidez, Vetekemicermo MOCVD Grafitoen plakak (edo MOCVD-rako grafito grafikoen plakak) gan eta gaas epitaxia egiteko diseinatu dira eta kudeaketa termiko optimizatua eskaintzen dute.

●  Potentzia erdieroaleen fabrikazioa:

Semikera erdieroaleen estatistika esperimentalekin konbinatuta, oxidazioarekiko erresistentzia hobetua duten plakak nahiago dira silizio karburo (sic) edo galio nitride (GAN) prozesuak.

●  Ekoizpen handiko produkzioa:

Wafer anitzeko erretiluek erreaktoreen diseinuarekin lerrokatzeko prozesamendu zehatza behar dute. Semikera erdieroale hornitzaile fidagarriaren MOCVD grafito pertsonalizagarriak tresnaren konfigurazio espezifikoekin bat egin dezake.

4.G.: Zein dira funtsezko gogoetak MOCVD Grafito Plaka hornitzaile fidagarria aurkitzeko?

●  Ziurtagiria eta probak:

Egiaztatu hornitzaileak materialaren ziurtagiria (adibidez, garbitasun txostena, dentsitate test) eta prozesatzeko gainazaleko tratamendua eskaintzen duela (E.G. estaldura porositatea murrizteko). Txinako erdieroaleen estaldura eta epitaxial prozesuen fabrikatzaile garrantzitsu gisa, Vetekemiciemic MOCVD grafito plakak gobernuko sailek ziurtatu dituzte muga-esperimentu zorrotzetarako, eta bere produktuen garbitasuna eta dentsitatearen probak bere ikaskideen aurrean daude.

●  Pertsonalizazio gaitasunak:

Goi-garbitasun handiko grafitoaren susceptor hornitzaileek tamaina, zulo eredua eta estaldura pertsonalizatu beharko dituzte zure erreaktoreen eskakizunak betetzeko. Biek ala biek erlazionatutako produktuen eta teknologien pertsonalizazio zerbitzuen gaitasunak dituzte, eta guztiz gai dira zure pertsonalizatutako behar desberdinak topatzeko.

●  Bizitza eta kostu eraginkortasuna:

Grafito merkeagoak aurrez aurre aurreztu ditzakeen arren, beheko grafitoko platerak maiz ordezkatzea eta geldialdiak ekarriko ditu, ekoizpen-eraginkortasun normalari larriki eragiten diona. Vetekemicice grafitoaren plakak eta kalitate handiko produktuak aukeratzeak zure negozioa epe luzeko produkzio fidagarria lortzeko aukera emango du.

5.G.: Nola zabaldu MOCVD grafito erretiluen zerbitzua?

●  Oxidazioa ekidin: Erabili Gas Purga Inerta Berokuntza / Hozteko zikloetan.

●  Garbitu aldizka: Erabili urrabiar gabeko metodoak (hala nola, grabaketa lehorra) metatutako hondakinak kentzeko.

●  Saihestu estres mekanikoa: Kudeatu erretilua arretaz wafer kargatzen / deskargatzen.

Vetekemicon-en aholku onena:

Tenperatura altuko korrosioarekiko erresistenteak diren MOCVD grafito plakak, eman lehentasuna hornitzaileei eskarmentu handiz hornitzaileei.

Probako laginak errendimendua egiaztatzeko prozesu baldintzetan.

Arakatu estaldura aurreratuak (esaterako, SIC estaldura, TAC estaldura) muturreko inguruneetan iraunkortasuna eta fidagarritasuna hobetzeko.

Sic Coating MOCVD grafito plakaari buruzko informazio gehiago lortzeko, egin klik hemen.

TAC estaldura MOCVD grafito plakari buruzko informazio gehiago lortzeko, egin klik hemen.