Silizio karburo solidoa

VeTek Semiconductor Silizio Solido Karburoa zeramikazko osagai garrantzitsu bat da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburo solidoan (CVD silizio-karburoa) akuaforte-ekipoko piezak barne hartzen ditufokatze eraztunak, gas dutxa-burua, erretilua, ertzeko eraztunak, etab. Silizio karburo solidoaren (CVD silizio karburoa) erreaktibotasun eta eroankortasun baxua dela eta, kloroa eta fluoroa duten grabaketa-gasen aurrean, material aproposa da plasma grabatzeko ekipoen fokatze-eraztunetarako eta beste eraztunetarako. osagaiak.

Esate baterako, foku-eraztuna obleatik kanpo eta oblearekin zuzeneko kontaktuan jartzen den zati garrantzitsu bat da, eraztunari tentsio bat aplikatuz eraztunetik igarotzen den plasma bideratzeko, eta, horrela, oblean plasma zentratuz, uniformetasuna hobetzeko. prozesatzea. Foku-eraztun tradizionala silizioz edokuartzoa, silizio eroalea foku-eraztunaren material arrunt gisa, siliziozko obleen eroankortasunetik ia gertu dago, baina eskasia fluoroa duen plasman grabatzeko erresistentzia eskasa da, sarritan erabiltzen diren makina-makinen materialak denbora tarte batean grabatzeko erresistentzia eskasa da. korrosio-fenomenoa, bere ekoizpen-eraginkortasuna larriki murrizten du.

SEtaC foku eraztun zaharraLan-printzipioa：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa:

Eta Oinarritutako Fokatze Eraztunaren eta CVD SiC Fokatze Eraztunaren konparazioa
Elementua	Eta	CVD SiC
Dentsitatea (g/cm³)	2.33	3.21
Banda-hutsunea (eV)	1.12	2.3
Eroankortasun termikoa (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modulu elastikoa (GPa)	150	440
Gogortasuna (GPa)	11.4	24.5
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia	Pobrea	Bikaina

VeTek Semiconductor-ek silizio solido karburoa (CVD silizio karburoa) pieza aurreratuak eskaintzen ditu erdieroaleen ekipoetarako SiC fokatze eraztunak bezalakoak. Gure silizio karburo solidoko fokatze-eraztunek silizio tradizionala gainditzen dute, erresistentzia mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura altuko iraunkortasunari eta ioi-grabatzeko erresistentziari dagokionez.

Gure SiC fokatze-eraztunen ezaugarri nagusiak hauek dira:

Dentsitate handia grabaketa-tasa murriztuetarako.

Isolamendu bikaina banda hutsarekin.

Eroankortasun termiko handia eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.

Kolpe mekanikoen erresistentzia eta elastikotasun handia.

Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.

Erabiliz fabrikatuaPlasma-hobetutako lurrun-deposizio kimikoa (PECVD)teknikak, gure SiC fokatze-eraztunak erdieroaleen fabrikazioko grabatze-prozesuen eskakizun gero eta handiagoak betetzen dituzte. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiKapazitiboki akoplatutako plasma (CCP)sistemak.

VeTek Semiconductor-en SiC fokatze-eraztunek errendimendu eta fidagarritasun aparta eskaintzen dute erdieroaleen gailuen fabrikazioan. Aukeratu gure SiC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.

View as

CVD SIC BLOKA SIC Crystal Hazkundearentzat

SIC Crystal Hazkundearen CVD SIC blokea, Vetek erdieroaleek garatutako lehengai altu berria da. Sarrera-irteera-erlazio handia du eta tamaina handiko silikoko karburo bakarreko kristal handiak hazten ditu, gaur egun merkatuan erabilitako hautsa ordezkatzeko bigarren belaunaldiko materiala da. Ongi etorria arazo teknikoak eztabaidatzeko.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Sic kristal hazkuntza teknologia berria

Vete Trufaneko Kimika Karbidearen (CVD) sortutako Silicon Carbide (CVD) osatutako Silicon Carbide (CVD) sortutako iturri material gisa erabiltzea gomendatzen da, lurruneko garraio fisikoa (PVT). SIC Crystal Hazkunde teknologia berrietan, iturri materiala gurutze batean kargatzen da eta hazi kristal baten gainean sublimatu da. Erabili garbitasun handiko CVD-SIC blokeak SIC kristalak hazteko iturri gisa izateko. Ongi etorri gurekin lankidetza ezartzea.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

CVD sic dutxa burua

Vetek erdieroalea CVD SIC dutxaren buru fabrikatzaile eta berritzailea da. Urte askotan espezializatu gara. Espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Sic dutxa burua

Vetek erdieroalea Txinan dagoen SIC dutxatzaile eta berritzaileak dira. Urte askotan espezializatuta egon gara. SIC dutxaren buruan espezializatuta egon dira, egonkortasun termokimiko bikaina dela eta, indar mekaniko handia eta plasma higadurarekiko erresistentzia dela eta.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

SiC gas solidoko dutxa-burua

SiC gas solidoko dutxa-buruak paper garrantzitsua betetzen du CVD prozesuan gasa uniforme bihurtzeko, eta horrela substratuaren beroketa uniformea bermatzen du. VeTek Semiconductor-ek urte asko daramatza SiC solidoko gailuen eremuan parte hartu eta bezeroei SiC Gas Solidoko Dutxa Buru pertsonalizatuak eskaintzeko gai da. Zure eskakizunak zeintzuk diren ere, zure kontsultaren zain gaude.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Lurrunaren gordailu kimikoen prozesua SIC ertz sendoa

Vetek erdieroaleak beti izan dira material erdieroale aurreratuak ikertu eta garatzeko eta fabrikatzeko. Gaur egun, Vetekeko erdieroaleak aurrerapen handia egin du lurruneko gordailu kimikoen prozesuan SIC ertz solidoen eraztun produktuak eta bezeroei zuzendutako SIC ertzeko eraztun pertsonalizatuak eskaintzen dizkie. SIC ertzetako eraztun sendoak uniformetasun hobea eta obra zehatza eskaintzen du chuck elektrostatiko batekin erabiltzen denean, etiketa koherenteak eta fidagarriak ziurtatuz. Aurrera begira zure kontsulta eta elkarri epe luzeko bazkide bihurtzea.

Gehiago ikusi >> Bidali kontsulta >>

Txinan Silizio karburo solidoa fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Silizio karburo solidoa aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra
+86-18069220752
Faxa
+86-579-87223657
Posta elektronikoa
anny@veteksemi.com
Helbidea
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang probintzia, Txina

Web menua

Produktuen bilaketa

Hizkuntza

Irten menutik

Silizio karburo solidoa

Gure SiC fokatze-eraztunen ezaugarri nagusiak hauek dira:

CVD SIC BLOKA SIC Crystal Hazkundearentzat

Sic kristal hazkuntza teknologia berria

CVD sic dutxa burua

Sic dutxa burua

SiC gas solidoko dutxa-burua

Lurrunaren gordailu kimikoen prozesua SIC ertz sendoa

Bidali kontsulta

QR kodea

Guri buruz

Produktuak

Jarri gurekin harremanetan

Mugikorra

Faxa

Posta elektronikoa

Helbidea