QR kodea

Guri buruz
Produktuak
Jarri gurekin harremanetan
Mugikorra
Faxa
+86-579-87223657
Posta elektronikoa
Helbidea
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang probintzia, Txina
Vetek erdieroale silizio solidoa karburo zeramikazko osagai garrantzitsua da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburu sendoa (CVD Silicon Carbide) Grabatzeko ekipoen zatiak daudeEraztunak bideratzea, gas dutxa, erretilua, eraztunak eta abar. Silizio karburu sendoaren (CVD Silicon Carbide) erreaktibitate eta eroankortasun txikia dela eta kloroa eta grafikoko gasak dituzten material aproposa da.
Adibidez, fokuaren eraztuna obraren kanpoan kokatutako zati garrantzitsua da eta obra zuzenean jartzen da. Fokuen eraztun tradizionala silizioz edokuartzoz, Silizio eroalea, silikonazko ogien eroankortasunetik ia gertu dago, baina gabezia da, orkestrapean, grafikoko plasmak, grabatzeko makinen piezak maiz erabiltzen direnak.
SOlid SIC Focus eraztunaLan printzipio:
SI oinarritutako fokatze eraztunaren eta CVD sic fokatze eraztunaren konparazioa:
SI oinarritutako fokatze eraztunaren eta CVD sic fokatze eraztunaren konparazioa | ||
Gai | Eta | Cvd sic |
Dentsitatea (g / cm3) | 2.33 | 3.21 |
Band Gap (EV) | 1.12 | 2.3 |
Eroankortasun termikoa (w / cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/ ℃) | 2.6 | 4 |
Modulu elastikoa (GPA) | 150 | 440 |
Gogortasuna (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia | Txiro | Bikain |
Vetek erdieroaleak silikonazko karburo sendo aurreratuak eskaintzen ditu (CVD Silicon Carbide) SICen ardatzak enpresentzako eraztunetarako. Gure silizio karburo sendoak eraztunek silikona tradizionala gainditzen dute indar mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura handiko iraunkortasunari eta ioiaren erresistentziari dagokionez.
Dentsitate altua grabatzeko tasa murrizteko.
Isolamendu bikaina banda handiko batekin.
Eroankortasun termiko altua eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.
Eragin mekanikoko erresistentzia eta elastikotasuna.
Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.
Fabrikatua erabilizPlasma hobetutako lurrun kimikoen gordailua (PECVD)Teknikek, gure SIC fokatze eraztunek etiketa prozesuen eskakizunak gero eta gehiago betetzen dituzte fabrikazio erdieroaleetan. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiplasma complifikatua (CCP)Etastemak.
Vetek erdieroalearen SIC eraztunek aparteko errendimendua eta fidagarritasuna eskaintzen dituzte gailu erdieroaleen fabrikazioan. Aukeratu gure SIC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang probintzia, Txina
Copyright © 2024 Vetek erdieroale teknologia Co., Ltd. Eskubide guztiak erreserbatuta.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |