Produktuak

Silikonaren karburo solidoa

Vetek erdieroale silizio solidoa karburo zeramikazko osagai garrantzitsua da plasma grabatzeko ekipoetan, silizio karburu sendoa (CVD Silicon Carbide) Grabatzeko ekipoen zatiak daudeEraztunak bideratzea, gas dutxa, erretilua, eraztunak eta abar. Silizio karburu sendoaren (CVD Silicon Carbide) erreaktibitate eta eroankortasun txikia dela eta kloroa eta grafikoko gasak dituzten material aproposa da.


Adibidez, fokuaren eraztuna obraren kanpoan kokatutako zati garrantzitsua da eta obra zuzenean jartzen da. Fokuen eraztun tradizionala silizioz edokuartzoz, Silizio eroalea, silikonazko ogien eroankortasunetik ia gertu dago, baina gabezia da, orkestrapean, grafikoko plasmak, grabatzeko makinen piezak maiz erabiltzen direnak.


SOlid SIC Focus eraztunaLan printzipio

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI oinarritutako fokatze eraztunaren eta CVD sic fokatze eraztunaren konparazioa:

SI oinarritutako fokatze eraztunaren eta CVD sic fokatze eraztunaren konparazioa
Gai Eta Cvd sic
Dentsitatea (g / cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Eroankortasun termikoa (w / cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/ ℃) 2.6 4
Modulu elastikoa (GPA) 150 440
Gogortasuna (GPA) 11.4 24.5
Higadura eta korrosioarekiko erresistentzia Txiro Bikain


Vetek erdieroaleak silikonazko karburo sendo aurreratuak eskaintzen ditu (CVD Silicon Carbide) SICen ardatzak enpresentzako eraztunetarako. Gure silizio karburo sendoak eraztunek silikona tradizionala gainditzen dute indar mekanikoari, erresistentzia kimikoari, eroankortasun termikoari, tenperatura handiko iraunkortasunari eta ioiaren erresistentziari dagokionez.


Gure SIC Fokatze eraztunen funtsezko ezaugarriak daude:

Dentsitate altua grabatzeko tasa murrizteko.

Isolamendu bikaina banda handiko batekin.

Eroankortasun termiko altua eta hedapen termikoaren koefiziente baxua.

Eragin mekanikoko erresistentzia eta elastikotasuna.

Gogortasun handia, higadura erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia.

Fabrikatua erabilizPlasma hobetutako lurrun kimikoen gordailua (PECVD)Teknikek, gure SIC fokatze eraztunek etiketa prozesuen eskakizunak gero eta gehiago betetzen dituzte fabrikazio erdieroaleetan. Plasma potentzia eta energia handiagoa jasateko diseinatuta daude, zehazkiplasma complifikatua (CCP)Etastemak.

Vetek erdieroalearen SIC eraztunek aparteko errendimendua eta fidagarritasuna eskaintzen dituzte gailu erdieroaleen fabrikazioan. Aukeratu gure SIC osagaiak kalitate eta eraginkortasun handiagoa lortzeko.


View as  
 
SiC gas solidoko dutxa-burua

SiC gas solidoko dutxa-burua

SiC gas solidoko dutxa-buruak paper garrantzitsua betetzen du CVD prozesuan gasa uniforme bihurtzeko, eta horrela substratuaren beroketa uniformea ​​bermatzen du. VeTek Semiconductor-ek urte asko daramatza SiC solidoko gailuen eremuan parte hartu eta bezeroei SiC Gas Solidoko Dutxa Buru pertsonalizatuak eskaintzeko gai da. Zure eskakizunak zeintzuk diren ere, zure kontsultaren zain gaude.
Lurrunaren gordailu kimikoen prozesua SIC ertz sendoa

Lurrunaren gordailu kimikoen prozesua SIC ertz sendoa

Vetek erdieroaleak beti izan dira material erdieroale aurreratuak ikertu eta garatzeko eta fabrikatzeko. Gaur egun, Vetekeko erdieroaleak aurrerapen handia egin du lurruneko gordailu kimikoen prozesuan SIC ertz solidoen eraztun produktuak eta bezeroei zuzendutako SIC ertzeko eraztun pertsonalizatuak eskaintzen dizkie. SIC ertzetako eraztun sendoak uniformetasun hobea eta obra zehatza eskaintzen du chuck elektrostatiko batekin erabiltzen denean, etiketa koherenteak eta fidagarriak ziurtatuz. Aurrera begira zure kontsulta eta elkarri epe luzeko bazkide bihurtzea.
SiC Aguaforte Solidoa Fokatze Eraztuna

SiC Aguaforte Solidoa Fokatze Eraztuna

SIC SIC grabaketa fokatze eraztuna Wafer grabatzeko prozesuaren oinarrizko osagaietako bat da, obra finkatzeko zeregina du, plasma bideratzea eta wafer grabatzeko uniformetasuna hobetzea. Vetek erdieroaleak SIC Siconctor-ek fokatze-fabrikatzaile nagusiak teknologia eta heldutasun prozesu aurreratuak ditu eta bezeroen eskakizunen arabera guztiz betetzen dituen eraztunen fokatze-eraztun sendoak fabrikatzen ditu. Espero dugu zure kontsulta eta elkarri epe luzerako bazkide bihurtzea.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Txinan Silikonaren karburo solidoa fabrikatzaile eta hornitzaile profesional gisa, gure fabrika propioa dugu. Zure eskualdeko behar espezifikoak betetzeko pertsonalizatutako zerbitzuak behar dituzun ala ez, Txinan egin beharreko Silikonaren karburo solidoa aurreratuak eta iraunkorrak erosi nahi badituzu, mezu bat utzi diezagukezu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept