SIC Disko itxurako dutxa sendoa

SIC Disko itxurako dutxaren buruaren eginkizuna CVD prozesuan, erreakzio-gasa deposizioaren eremuaren gainetik banatzea da, beraz, erreaktorearen inguruan modu berdinean hedatu daiteke, film laua eta uniformea ​​lortzeko.

SIC dutxako buru solidoa CVD labearen goiko aldean dago edo gasaren barnean. Erreakzio-gasa disko itxurako egituran sartzen da dutxako buruan banatutako zuloen bidez eta dutxaren buruaren gainazalean barrena hedatzen da. Kanalaren diseinu anitzen bidez eta banatutako saltokien bidez, erreakzio-gasa modu uniformean isuri daiteke erreaktore osora, kontzentrazioa edo turbulentzia saihestuz eta substratuan metatutako geruzaren lodieraren koherentzia bermatuz.

Aldi berean, disko erdieroaleen forma dutxaren egiturak difusio efektua ere badu, eta horrek gasaren fluxu-tasa modu eraginkorrean murriztu dezake, toberaren irteerara modu berdinean izan dadin eta tokiko gasaren fluxuak gordailuaren efektuan aldatzen duen eragina murrizteko. Gas zuzeneko eragina ekiditen laguntzen du substratuan eta depositu irregularraren arazoa ekiditen du.

Materialen ikuspegitik, SIC gas solidoa da, tenperatura altuko erresistenteak, korrosioarekiko erresistenteak eta indar handiko SIC material solidoak egin beharrekoa. Denbora luzez lan egin dezake CVD labeetan eta zerbitzu luzeko bizitza du.

Vetek erdieroaleak kalitate handiko zerbitzu pertsonalizatuak eskaintzen ditu. SIC formako dutxako dutxako buruaren forma eta zuloaren diseinua malguki egokitu daiteke bezeroaren prozesuaren eskakizunen arabera, gas mota desberdinetara, fluxu-tasen eta gordailuen materialetara egokitzeko. Erreaktore edo substratu tamainen tamaina desberdinetarako, diametro eta zulo banaketa desberdinak dituzten disko itxurako dutxako buruak pertsonalizatu daitezke gasaren banaketa efektua optimizatzeko.

Vetek erdieroaleak prozesu helduak eta teknologia aurreratuak ditu SIC erdieroaleentzako dutxa buruko produktuetarako, bezero ugari lagunduz CVD prozesuetan etengabeko aurrerapenak lortzeko. Vetek erdieroaleak zure epe luzerako bikotea bihurtzen du Txinan.

SIC solidoaren propietate fisikoak

Erdieroalea daSIC Disko formako Dutxa Burua Produkzio Dendak