TAC estaldura planetaren susceptor

Erretinezko fabrikazioaren esparruan, TAC estaldura planetaren susmoak funtsezko eginkizuna du. Oso erabilia da Silicon Carbide (SIC) EPITAXIAL GALTZAILEAK AIXTRON G5 SISTEMA bezalako ekipoetan. Gainera, Tantalum Carbide-n (TAC) estaldura-gordailu gisa erabiltzen denean, SIC Epitarxy-rako estaldura-gordailua, TAC estaldura planetaren susmoak ezinbesteko laguntza eta egonkortasuna eskaintzen du. Tantalum karburoaren geruzaren deposizio uniformea ​​bermatzen du, kalitate handiko geruza epitaxialak eratzen laguntzen du gainazaleko morfologia bikainarekin eta nahi duzun filmaren lodierarekin. TAC estalduraren inertotasun kimikoek nahi ez diren erreakzioak eta kutsadura ekiditen dituzte, geruza epituxialen osotasuna mantenduz eta kalitate gorena bermatuz.

TAC estalduraren salbuespeneko eroankortasun termikoa bero-transferentzia eraginkorra ahalbidetzen du, tenperatura uniformea ​​banatzea sustatuz eta estres termikoa minimizatuz hazkunde epituxialen prozesuan. Horrek kalitate handiko SIC geruza epitaxialen produkzioa propietate kristalografiko hobetuak eta eroankortasun elektriko hobetua lortzen ditu.

TAC estaldura planetaren diskaren dimentsio eta eraikuntza sendoak errazak dira lehendik dauden sistemetan integratzea, bateragarritasunik gabekoa eta funtzionamendu eraginkorra bermatuz. Bere errendimendu fidagarria eta kalitate handiko TAC estaldurak emaitza koherenteak eta uniformeak laguntzen ditu SIC Epitarxy prozesuetan.

Konfiantza Vetek erdieroale eta gure TAC estaldura planetaren diskoa aparteko errendimendua eta fidagarritasuna SIC Epitaxy-n. Esperimentatu gure irtenbide berritzaileen abantailak, erdieroaleen industrian aurrerapen teknologikoen abangoardian kokatuz.