TAC estaldura biraketa plaka

Vetek erdieroaleen estaldura-plakak garbitasun handiko konposizioa du, 5ppm baino gutxiagoko garbitasun edukia, eta egitura trinkoa eta uniformea ​​da, hau da, LPE EPI sistemetan, AIXTron sistemetan, tel CVD sistemetan, Veeco Systems, Veeco Systems, TSI sistemetan erabiltzen dena.

● Ezaugarri mekaniko bikainak:

Estaldura gogortasuna 2300hv arte, higadura erresistentzia bikaina du.

Estalduraren eta substratuaren arteko atxikimendua sendoa da eta ez da erraza erortzea edo zuritu.

Estaldurak egiturazko egonkortasun ona mantendu dezake tenperatura altuan.

●  Korrosioarekiko erresistentzia bikaina:

TAC materialak berak egonkortasun kimiko bikaina eta korrosioarekiko erresistentzia du.

Vetek erdieroaleen estaldurak ondo funtzionatzen dute gas ingurune erasokorretan.

Ekipoen barne osagaiak korrosio kalteetatik babestu ditzake.

● Gainazal altua:

Vetek erdieroaleak estaldura prozesu zehatza erabiltzen du nahi duzun akabera sortzeko.

Gainazal txikiko zakarritasunak partikulen metaketa eta gordailua murrizten laguntzen du.

● Estaldura koherentzia ona da:

Vetek erdieroaleak soinu kalitate kontrolerako sistema du loteen arteko errendimendu koherentea bermatzeko.

Estaldura lodiera modu berdinean banatzen da eta ez dago tokiko akatsik.

● Aplikazioen errendimendu praktiko bikaina:

Vetek erdieroalearen TAC estaldura oso ezaguna da etxean eta atzerrian ekipamendu epituxial fabrikatzaile ezagunetan.

TAC estalitako biraketa plakaren produktuaren parametro fisikoa:

Tantalum karburo estaldura zeharkako mikroskopiko batean