Aixtron G10 SiC erreaktore planetario solidoaren osagaiak

1. Ezaugarri nagusiak eta abantailak

• Erabat trinkoa, aglutinatzailerik gabeko SiC solidoaren egitura, higadura eta korrosioarekiko erresistentzia handia izateko

• Eroankortasun termiko bikaina eta shock termikoaren erresistentzia 1500 °C-tik gorako tenperaturetan

• Partikula oso baxuak sortzea eta purutasun handikoa, kutsadura arriskua gutxituz

• SiC epitaxian erabiltzen diren prozesu-gasen aurkako inertetasun kimiko nabarmena

• Zerbitzu-bizitza luzea tenperatura altuko ziklo errepikatupean

• Zehaztasunez mekanizatuta dimentsio-perdoiak estuetara egokitzeko eta prozesuaren egonkortasunerako

 2. Aplikazio tipikoak

Solid SiC osagarri hauek Aixtron G10 erreaktorearen funtsezko eremu funtzionaletan erabiltzen dira, besteak beste:

• Estalki-plakak eta hautatutako estalki-elementuak

• Babes-eraztunak eta higadura handiko osagaiak

• Zehaztasun-pinak, zirrindolak eta egitura-pieza txikiak

• Garbitasun handiko beste txertaketa pertsonalizatu batzuk gas-fluxu biziaren edo karga termikoaren eraginpean

Tenperaturaren banaketa egonkorra, gasaren banaketa uniformea ​​eta akatsen dentsitate baxua onartzen dute bolumen handiko SiC epitaxial hazkuntzan potentzia MOSFET, diodo eta erlazionatutako banda zabaleko gailuetarako.

3. Zergatik aukeratu VeTek Solid SiC Aixtron G10-rako?

Erdieroale-mailako materialen fabrikatzaile espezializatu gisa, VeTek Semiconductor-ek honako hauek eskaintzen ditu:

• Garbitasun handiko SiC solido osagaiak Aixtron G10 sistemetarako egokitutakoak, adibidez: Estalki-eraztuna, Barneko/kanpoko estalkiak, beherantz/euskarri plaka, Satelite diskoa, suszeptorea.

• Garbitasun-kontrol zorrotza eta doitasuneko CNC mekanizazioa

• Soluzio osagarriak, CVD SiC estalitako grafitoa eta TaC estalitako piezak barne, eremu termiko osoa estaltzeko.

• Prozesu-baldintza eta erreaktoreen konfigurazio espezifikoekin bat datozen diseinu pertsonalizatuak

Gure Solid SiC osagarriek bezeroei Aixtron G10 plataformaren produktibitate-abantailak maximizatzen laguntzen diete (obleen irteera handia, lodiera bikaina eta dopinaren uniformetasuna eta jabetza-kostu lehiakorra) osagaien bizitza luzatzen duten bitartean eta partikulen errendimendu-galera murrizten duten bitartean.