AMAT Cover Top Quartz 8 hazbeteko PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 hazbeteko PCII (Pieza 0200-00218 zk.) kuartzozko purutasun handiko osagaia da 200 mm (8 hazbete) PVD prozesu-ganberetan erabiltzeko diseinatua, bereziki Applied Materials Endura® plataformarekin (PCII ganbera) bateragarria.

Garbitasun ultra handiko kuartzoz fabrikatua, osagai honek paper garrantzitsua betetzen du deposizio-ingurune garbi eta egonkorra mantentzeko kutsadura gutxituz eta plasmaren portaera koherentea bermatuz.

Vetek Semiconductor-en, doitasunez diseinatutako kuartzozko piezak eskaintzen ditugu materialen kontrol zorrotzarekin eta dimentsioko zehaztasunarekin, erdieroale fabrikatzaileentzat eta ekipamendu zerbitzu hornitzaileentzat alternatiba fidagarriak eskainiz.

Funtsezko zehaztapenak:

Prozesuaren eskaera eta ganberako postua

Kuartzozko estalki hau PVD sputtering prozesuetarako bereziki diseinatuta dago, erdieroaleen fabrikazioan oso erabilia metalezko film meheen deposiziorako, hala nola aluminioa (Al), titanioa (Ti) eta kobrea (Cu).

Ganbera postua

Osagaia PVD ganberaren goiko atalean instalatzen da, normalean goiko estalkiaren eskualdea deitzen dena, non:

● Plasma isurtzeko guneak

● Prozesatzeko gasaren fluxu-bideak

● Partikulen metaketa-inguruneak

Eginkizun funtzionala Ganbaran

Ganberaren egituraren barruan, Cover Top Quartz-ek babes-hesi ez-metaliko gisa eta elementu isolatzaile gisa balio du, oblearen gainean kokatuta eta xede-eskualdetik gertu.

Bere kokatzea funtsezkoa da:

● Ganbara sentikorrak diren osagaiak metal-deposizioetatik babestea

● Isolamendu elektrikoa mantentzea RF plasma inguruneetan

● Prozesu-baldintza egonkorrak eta errepikagarriak izatea

Funtzio nagusiak eta errendimenduaren abantailak

1) Kutsaduraren Kontrola

PVD prozesuetan, sputtered metal atomoak obleetan ez ezik, ganberaren barneko gainazaletan ere metatu ohi dira.

Kuartzozko estalki hau:

● Sakrifizioko babes-geruza gisa jokatzen du

● Ganbera-egitura kritikoetan metalen pilaketa saihesten du

● Partikulen sorrera eta kutsadura gurutzatua murrizten du

Emaitza: obleen etekina eta prozesuaren garbitasuna hobetu dira

2) Plasma Egonkortasuna eta Isolamendu Elektrikoa

Bere propietate dielektriko bikainei esker, purutasun handiko kuartzoak:

● RF eremuen banaketa egonkorra

● Interferentzia elektrikoen arriskua murriztea

● Plasma-dentsitate koherentea prozesu-zikloetan zehar

Emaitza: Filmaren uniformetasuna eta errepikakortasuna hobetu

3) Materialaren garbitasun handia

Vetek Semiconductor-ek purutasun ultra handiko kuartzozko materialak erabiltzen ditu ezpurutasunen sarrera minimizatzeko.

● Kutsadura metaliko txikia

● Gutxieneko desgasifikazioa hutsean

● Nodo erdieroale aurreratuetarako egokia

Emaitza: Fabrikazio-mailako garbitasun estandar zorrotzak betetzen ditu

4) Plasma eta erresistentzia termiko bikaina

Osagaia jasateko diseinatuta dago:

● Plasmaren higadura eta ioien bonbardaketa

● Errepikaturiko ziklo termikoa

Emaitza: zerbitzu-bizitza luzeagoa eta mantentze-maiztasun murriztua

5) Kontsumigarrien diseinu errentagarria

Ganbera ordezkagarria den kontsumigarri gisa, zati hau:

● Ganberako hardware garestiak babesten ditu

● Mantentze-zikloak errazten ditu

● Jabetzaren kostu osoa (TCO) murrizten du

Zergatik aukeratu Vetek Semiconductor?

Vetek Semiconductor-en, materialen zientziaren esperientzia eta erdieroaleen prozesuen ulermena konbinatzen ditugu errendimendu handiko kuartzozko osagaiak emateko.

Gure abantailak:

● Doitasunezko mekanizazioa, tolerantzia estuekin

● Lehengaien hautaketa zorrotza eta trazabilitatea

● AMAT Endura plataformekin bateragarritasun frogatua

● Mundu mailako erdieroaleen bezeroentzako hornidura egonkorra

● Ingeniaritza-laguntza pertsonalizatzeko eta optimizatzeko