Fokua eraztuna grabatzeko

Siliziozko grabaketa monokristalinoak ezinbesteko osagaiak dira erdieroaleen grabazio prozesuetan plasma ingurumenaren egonkortasuna mantenduz, ekipamenduak eta ogiak babestuz, baliabideen erabilera optimizatuz eta prozesu aurreratuen eskakizunetara egokituz. Bere errendimenduak txiparen fabrikazioaren etekina eta kostua zuzenean eragiten du.

Etched Focus eraztuna, elektrodoa eta abar (ertzaren tenperatura kontrolatzailea) oinarrizko kontsumitzaileak dira plasma uniformetasuna, tenperatura kontrolatzeko eta prozesatzeko errepikagarritasuna ziurtatzeko. Osagai hauek CVD, grabaketa eta zinema ekipamenduko hutsean muntatzen dira, eta zuzenean zehazten dute etxikaren zehaztasuna eta errendimendua.

Goi-mailako fabrikazio prozesuetan propietate materialen eskariari erantzunez, VetekesEmi-k berritzen du purutasun handiko silizio monokristalinoa erabiliz, 10-20ω · cm-ko erresistentziarekin, eraztunen fokuak fabrikatu eta kontsumigarriak babesteko. Zientzia materialen, diseinu elektrikoaren eta termodinamikaren lankidetza optimizazioaren bidez, VetekeSemi-k eraztunen fokuak fabrikatzeko eta kontsumigarriak babesteko gai da. Kuartziaren konponbide tradizionalak modu ulergarrian gainditzea, iraupen, zehaztasun eta kostu eraginkortasunean hobekuntzak lortzeko.

Materialen konparazio eta erresistentzia optimizazioa

Silizio monokristalina vs. Kuartzoz

Produktuaren nukleoa advantage

1. Maila atomikoaren prozesuaren zehaztasuna

Erresistentziaren optimizazioa + Zehaztasun ultra-leuntzea (RA <0,1μm) mikro-alta eta partikulen kutsadura ezabatzen ditu erdi F47 arauak betetzeko.

Galera Dielektrikoa (Tanδ <0,001) oso parekatuta dago Wafer Inguru Dielektrikoarekin, ertz elektrikoaren eremua desitxuratzea eta 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° Zulo sakon bertikala babesten duena.

2. Sistemaren bateragarritasun adimenduna

Etc ertzaren tenperatura kontrolatzeko moduluekin integratua, hoztearen airearen fluxua dinamikoki doitzen da termokopia eta AI algoritmoak ganbera-deriva termikoa konpentsatzeko.

Laguntza pertsonalizatutako RF bat datorren sarea, AMAT Centura, Lam Research Kiyo eta ICP / CCP iturriak bezalako makinak egiteko egokia da.

3. Kostu-eraginkortasun integrala

Silizio monokristalinoaren bizitza kuartzoz baino% 275 luzeagoa da, mantentze-zikloa 3.000 ordu baino gehiagokoa da, eta jabetza (TCO) kostu integrala% 30 murrizten da.

Erresistentziaren gradientearen pertsonalizazio zerbitzua (5-100ω · cm), bezeroaren prozesuaren leihoa (adibidez, gan / sic banda zabaleko materiala grabatzeko).

Erresistentziaren eragina

Produktuen merkataritza terminoak

Gutxieneko eskaera kantitatea	1 multzo
Salneurri	Kontaktua pertsonalizatutako aurrekontua egiteko
Ontzien xehetasunak	Esportazio pakete estandarra
Entregatzeko denbora	ENTREGATZEKO EPAITEGIA: 30-35 eguneko berrespena egin ondoren
Ordainketa baldintzak	T / t
Hornidura gaitasuna	600 multzo / hilean