Tantalo Karburo Porotsua (TaC) Estalitako Grafito Eraztuna

Produktuaren Ezaugarriak

• Oinarrizko ekipamendua:PVT teknologiarekin funtzionatzen duten SiC kristal bakarreko hazkuntza-labeetarako zuzenduta dago.
• Aplikazio nagusia:Eremu termikoko sistemetarako egokia da hirugarren belaunaldiko erdieroale SiC kristalen hazkundean.
• Tenperatura handiko egonkortasuna:TaC estaldurak egitura-osotasuna mantentzen du tenperatura oso altuetan, eta funtzionamendu luzea onartzen du ingurune termiko zorrotzetan.
• Korrosioaren babesa:CVD TaC geruza trinkoak grafitoaren substratua babesten du SiC hazkuntzan aurkitutako silizio-lurrunetatik, karbonoa duten gasetatik eta beste espezie korrosiboetatik.
• Eremu termikoaren errendimendua:Grafito-oinarri porotsuak beroaren banaketan eta lurrun-garraioan laguntzen du, eta horrek hazkunde-baldintza egonkorrak mantentzen laguntzen du.
• Kutsadura baxua:Garbitasun handiko hasierako materialek eta estaldura trinkoak ezpurutasunen askapena eta partikulak isurtzea mugatzen dute, kristalaren kalitateari mesede egiten diote.
• Bizitza luzatua:TaC geruzak oxidazio erresistentzia, gainazaleko gogortasuna eta iraunkortasun orokorra hobetzen ditu tenperatura altuetan.
• Estaldura atxikimendua:CVD prozesuak lotura sendoa ematen du TaC filmaren eta grafitozko substratuaren artean.
• Aukera pertsonalizatuak:Neurriak, egitura-xehetasunak eta estalduraren zehaztapenak doi daitezke SiC hazkuntza-labeen eskakizun desberdinetara egokitzeko.

Zehaztapen Teknikoak

Aplikazioak

VETEK Porous TaC estalitako grafito eraztuna batez ere erabiltzen da:

• SiC kristal bakarreko hazkundea PVT bidez
• Hirugarren belaunaldiko erdieroaleen fabrikazioa
• SiC substratuaren ekoizpena
• Eremu termikoko sistemak kristal hazteko labeetan
• Tenperatura handiko erdieroaleen prozesamendua
• Grafito-gune beroko osagai aurreratuak

Ohiko galderak

1. Zer da TaC estalitako grafito eraztun porotsua?

SiC kristal hazteko labeetarako eremu termikoko osagaia da. Grafitozko egitura porotsua eta CVD TaC estaldura konbinatzen ditu kudeaketa termikoa eta tenperatura altuko korrosioaren aurkako babesa emateko.

2. Zergatik erabili TaC estaldura SiC kristalen hazkuntzarako?

TaC-k tenperatura altuko egonkortasuna eta erresistentzia kimikoa eskaintzen ditu. Grafitoa silizio-lurrunaren erasoetatik babesten du eta hazkunde-ingurune garbi eta egonkorra mantentzen laguntzen du.

3. Zer eskaintzen du grafitozko egitura porotsuak?

Diseinu porotsuak banaketa termikoa eta gasaren garraioa onartzen ditu labearen barruan, eta horrek SiC kristalen hazkuntza-baldintza egonkorrak laguntzen ditu.

4. VETEK-ek TaC estalitako grafitozko eraztun pertsonalizatuak ekoitzi al ditzake?

Bai. VETEK-ek bezeroen marrazkietan, labeen diseinuetan eta prozesuen beharretan oinarritutako pertsonalizazioa eskaintzen du, neurriak, substratuaren konfigurazioa eta estaldura-parametroak barne.