TAC estaldura ordezko pieza

Erdieroalea daTAC estaldura plakamaterial berezi bat oso erabilia daelektronikaFabrikazio prozesua. Gogortasun eta higaduraren erresistentzia handia, tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, marruskadura-koefiziente txikia eta eroankortasun termiko ona, TAC estalduraren plakak eginkizunik gabe jokatzen du tramitazio erdieroalearen esteketan.

Orokorrean, aplikazioakTAC estalitako plakakErdieroaleen prozesamenduan honako hauek dira:

● CVD / ALD hazkunde substratua: Tenperatura altuko erresistentzia, egonkortasun kimikoa eta TAC estalitako plakaren marruskadura txikiko koefizienteek CVD / Ald hazkunde azpimultzo ezin hobeak bihurtzen dituzte. Hazkunde ingurune egonkorra eman dezake filmaren uniformetasuna eta dentsitatea bermatzeko.

●  Grabaketa maskara plaka: TAC estalitako plateren gogortasun eta korrosioaren aurkako erresistentzia handia da, hala nola, plasma grabaketa, grabaketa-plaka gisa, azpiko filmak babesteko.

●  Cmp leuntzeko pad: TAC estalitako plakaren higaduraren erresistentziak eta marruskadura baxuko koefizienteak material aproposak bihurtzen dituzte CMP leuntzeko konpresioetarako, eta horrek modu eraginkorrean kendu ditzake partikulak eta akatsak filmaren gainazalean.

●  Tenperatura handiko labe hodia: TAC estalitako plateren erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentziak tenperatura altuko labeetan labe hodiak erabili ahal izango dira tenperatura altuko labeetan, difusio eta bestelako prozesuetarako.

CVD TAC estaldura parametro teknikoak：

Vetek erdieroaleak Tac estaldura ordezko pieza produktuen dendak：