Veeco MOCVD berogailua

VeTeksemi-ren VEECO MOCVD berogailua purutasun handiko grafitozko materialaz egina dago, 5 ppm-tik beherako ezpurutasun-edukia zorrozki kontrolatzen duena, eta purutasun ultra-altuko silizio-karburoarekin (SiC) estalita, %99,99995 baino gehiagoko garbitasunarekin.lurrun-deposizio kimikoa (CVD) prozesua. Materialen konbinazio honek berogailuari bere errendimendu bikaina bermatzen duten funtsezko propietate batzuk ematen dizkioMetal Organikoko Vapor Kimika Gordailua (MOCVD)Prozesua.

VEECO MOCVD berogailuaren ezaugarri nabarmenetako bat bere aparteko purutasun kimikoa da. Garbitasun handiko grafitoaren nukleoak tenperatura altuko prozesuan kutsatzaileen sarrera potentziala asko murrizten du, film ultra-garbia deposizio-prozesua bermatuz. TheCVD SiC estalduraBerogailuarentzako babes osagarria eskaintzen du, zinemaren kalitatea kaltetu dezaketen erreakzio kimikoak ekiditeko oztopo sendoa osatuz. Parekorik gabeko garbitasun hau ezinbestekoa da errendimendu handiko eta fidagarriak diren gailu erdieroaleak fabrikatzeko.

Aldi berean, berogailuak egonkortasun eta eraginkortasun termiko oso altua erakusten du. SiC-k urtze-puntu altua eta eroankortasun termiko bikaina ditu, berogailuak beroa modu eraginkorrean kudeatu eta eroateko aukera emanez. Honek substratu osoan beroketa uniformea ​​bermatzen du, eta horrek filmaren deposizio uniformea ​​lortzen laguntzen du eta gradiente termikoek eragindako akatsak murrizten laguntzen du. Eraginkortasun termiko hori bereziki garrantzitsua da doitasunezko fabrikaziorako.

Veeco MOCVD berogailuak ere errendimendu elektrikoan nabarmentzen dira. Garbitasun handiko grafitoaren nukleoak eroankortasun elektriko bikaina du, berogailuak karga elektrikoko eskakizun handiak kudeatzeko aukera emanez. Errendimendu elektriko egonkor honek berogailuak tenperatura kontrolatzeko eta deposizio-tasa zehatza mantentzeko aukera ematen du karga baldintza altuen pean, eta hori funtsezkoa da prozesu koherenteen baldintzak bermatzea eta erdieroaleen fabrikazio-eraginkortasuna hobetzeko.

Berogailuaren gainazaleko diseinua arretaz optimizatu da substratuaren emisibitate handia izateko, eta horrek nabarmen hobetzen du bero erradiatiboaren transferentziaren eraginkortasuna. Era berean berotzeko gaitasuna funtsezko faktorea da filmaren jalkitze-lodiera eta ezaugarri koherenteak bermatzeko. Emisio handiko gainazaleko diseinuak berogailuaren eraginkortasun termiko orokorra hobetzen du, eta, ondorioz, energia-kontsumoa murrizten du eta funtzionamendu-kostuak murrizten ditu.

Iraunkortasunari dagokionez, Vetekemi-ren Veeco MOCVD berogailuak korrosioarekiko erresistentzia bikaina, oxidazioarekiko erresistentzia eta indar mekanikoa ditu. CVD SIC estaldurak MOCVD prozesuetan ohiko gas korrosiboen eta produktu kimikoen hesi sendoa eskaintzen du, eta, horrela, ekipoen bizitza luzatu eta mantentze-beharrak eta ordezko kostuak murrizten ditu. Bere oxidazioarekiko erresistentziak berogailua tenperatura altuetan egonkor jarraitzen duela ziurtatzen du errendimendu degradaziorik gabe, epe luzerako egonkortasuna bermatuz.

Gainera, VeTeksemi-ren MOCVD berogailuaren erresistentzia mekaniko handiak ziklo termikoan eta substratuaren manipulazioan sortutako tentsio fisikoei aurre egiteko aukera ematen du. Bere sendotasunak huts mekanikoen arriskua murrizten du eta ekipoaren funtzionamendu fidagarria bermatzen du prozesu baldintza gogorretan.

VEECO MOCVD berogailu produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile aurreratu gisa, VeTeksemi-k kalitate handiko berogailu produktu ugari eskaintzen ditu, hala nolaTaC Estaldura Berogailua, Silikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailua, Silizio karburo zeramikazko berogailuaeta Vetek erdieroalearen etab. Erdieroaleen industriarako teknologia aurreratu eta pertsonalizagarriak eta pertsonalizagarriak eskaintzeko konpromisoa hartzen du. Espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.