Silizio karburo zeramikazko berogailua

Erdieroalea daSilikonazko karburo zeramikazko berogailua tenperatura altu eta ingurune gogorretarako diseinatutako berogailua da. Berogailuaren gainazalean silizio karbono zeramikazko estalduraren geruza (SIC) berokatzen du, berogailu elementuaren gainazalean, beroarekiko erresistentzia bikaina, korrosioarekiko erresistentzia eta eroankortasun termikoa emateko. 

Silizio karburo zeramikazko berogailuabatez ere, hutsean estaltzen da (lurruntzea) ekipamenduan. Normalean erabilitako metodoak PCD (Plasma Lehortze kimikoa) eta PVD (lurrunaren gordailu fisikoa) dira, erdieroaleen fabrikazioan eta eskaera handiko beste aplikazio industrialetan oso erabiliak.

Silizio karburo zeramikazko berogailuaren errendimendu handiko estalduraren diseinuarekin konbinatuta,Berokuntza irtenbide bikaina eman dezake tenperatura handiko prozesuetarako.

Eroankortasun termiko bikaina: SIC materialak eroankortasun termiko bikaina du, berogailuak lan-eremuan bero banaketa uniformea ​​lor dezakeela eta tenperatura gradienteak murriztea bermatuz.

Bero banaketa uniformea ​​eskaintzea: Silicon Carbide zeramikazko estaldura berogailuak SIC materialaren eroankortasun termiko altua erabiltzen du berogailuan zehar tenperatura banaketa uniformea ​​lortzeko. Hori oso garrantzitsua da tenperatura altuko hainbat prozesuetan, esaterako, tenperatura altuko prozesuetan (RTP), difusioa eta oxidazioa, bertako gehiegizko edo irregular-oxidazioaren ondorioz sortutako produktuen akatsak saihesteko.

Tenperatura altuko tolerantzia: SIC estaldurak berogailuak tenperatura oso altuak jasateko aukera ematen du, normalean 1600 ºC-ko gehienez, tenperatura handiko prozesatzeko hainbat prozesurako egokia da.

Beroarekiko erresistentzia hobetu: Estaldurak tenperatura oso altuak jasan ditzakeelako, ondo funtzionatzen du tenperatura handiko epe luzeko funtzionamendua behar duten prozesuetan. Adibidez, kimikoen gordailu kimikoetan (CVD) prozesuak, silizio karburo zeramikazko estaldura berogailuak ekipamenduaren epe luzeko funtzionamendu egonkorra ziurtatu dezake tenperatura altuetan eta berotzeko errendimendu koherentea mantentzen du, eta, horrela, prozesuen errepikagarritasuna eta fidagarritasuna hobetu daitezke.

Korrosio kimikoen erresistentzia: SIC estaldurak gas azido, alkali eta korrosiboekiko erresistentzia handia du eta denbora luzez egonkor egon daiteke giro kimikoen ingurune konplexuan, ekipoaren bizitza luzatuz. 

Ekipoaren bizitza luzatuz: SIC estaldurak oxidazioarekiko erresistentzia bikaina eta korrosioarekiko erresistentzia bikaina du, eta eraginkortasunez aurre egin dezake tenperatura altuetan higadura kimikoa eta oxidazioa. Hau oso kritikoa da erdieroaleen fabrikazio prozesuan, batez ere gas korrosiboak eta produktu kimikoak kudeatzen dituen ingurune batean. Estalduraren efektu babesgarriak berogailuaren zerbitzuaren bizitza nabarmen hedatu dezake eta ekipoen ordezko eta mantentze kostuen maiztasuna murriztu dezake.

Silizio karburo zeramikazko berogailuaren oinarrizko propietate fisikoak:

Vetek erdieroaleak silizio karburo zeramikazko berogailuak:

Vemen erdieroaleen txiparen epitaxia industria katearen ikuspegi orokorra: