Silikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailua

Erdieroalea da Silikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailuaGrafitoaren eroankortasun elektriko eta termiko bikaina tenperatura erresistentziarekin, korrosioarekiko erresistentziarekin eta silizio karbono zeramikazko estalduraren erresistentziarekin eta higaduraren erresistentziarekin, eta erdieroaleen fabrikazio inguruneetarako diseinatuta dago. 

Silikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailuabatez ere, hutsean estaltzen da (lurruntzea) ekipamenduan, eta normalean erabiltzen diren metodoak PCD (Plasma Lehortze kimikoa) eta PVD (lurrunaren gordailu fisikoa) dira. Produktu honek paper garrantzitsua izan du aurrerapen teknologikoa sustatzeko eta erdieroaleen industrian ekoizpen-eraginkortasuna hobetzeko.Zirraraz ikusiko dugu zurekin lankidetza gehiago izatea.

Silizio karburo zeramikazko grafito berogailuaren ezaugarri materialak eta egituralak honako hauek dira:

Grafito substratua: Grafitoa da eroankortasun termiko altuagatik eta hedapen termikoko koefizientearengatik. Azkar erantzun dezake tenperatura aldaketari eta egiturazko egonkortasuna mantentzeko tenperatura altuetan.

Silizio karbono zeramikazko estaldura: Sic estaldura grafitoaren gainazalean estalita dago, lurrunaren gordailu kimikoen bidez edo beste prozesu aurreratu batzuen bidez. SIC-ek gogortasun eta korrosio kimikoen erresistentzia handia du, eta horrek grafito substratua tenperatura handiko oxidazio eta ingurune korrosibotik babestu dezake.

Silizio karburoaren zeramikazko estaldura berogailuaren produktuen egiturazko diseinu berezia zehazten duProduktu honen produktuaren abantaila ordezkaezinak prozesatzeko prozesuan:

Berokuntza eraginkorra eta uniformea:

Eroankortasun termikoa: Grafitoaren eroankortasun termiko altuak berogailuak behar duen tenperatura azkar iristeko eta mantentzeko aukera ematen du eta SIC estaldurak beroaren banaketa uniformea ​​bermatzen du. Hori bereziki garrantzitsua da tenperatura kontrol zehatza behar duten prozesu erdieroaleentzat, hala nola prozesamendu termiko azkarra (RTP) eta Vapor Kimikoen gordailua (CVD).

Tenperatura Uniformetasuna: Bero banaketa uniformearen bidez, Silicon Carbide zeramikazko estalduraren berogailuak estres termikoa eta tenperatura gradiente modu eraginkorrean murriztu ditzake, berogailu prozesuan zehar komenizitate eta kalitatearen egonkortasuna bermatuz.

Korrosioaren aurkako babesa:

Erresistentzia kimikoa: SIC estalduraren korrosioaren erresistentzia kimikoak berogailuak aukera ematen du eta denbora luzez gas korrosiboetan eta ingurune kimikoetan, grafito substratuari kalteak ekiditeko. Ezaugarri hau bereziki kritikoa da, hala nola lurrun kimikoen gordailua (CVD) eta Plasmak lurrun kimikoen gordailu kimiko hobetua (PECVD).

Oxidazioarekiko erresistentzia: Tenperatura altuetan, estaldura sicek grafito substratua oxidatzea ekidin dezake, berogailuaren zerbitzuaren bizitza luzatu eta ekipoen mantenimenduaren maiztasuna eta kostua murriztea.

Partikulen kutsadura murriztea:

Gainazalaren egonkortasuna: Sic estaldura ez da higadura erresistentea izateaz gain, txirrindularitza termiko edo erreakzio kimikoen ondorioz material gainazala erortzea eragozten du, eta horrela, erdieroaleen fabrikazioan gerta daitekeen partikulen kutsaduraren arriskua murrizten da eta garbitasun handiko prozesuaren ingurunea bermatuz.

Prozesuen fidagarritasuna eta eraginkortasuna hobetu:

Bizitza luzeko diseinua: Grafitoaren eta SIC estalduraren higaduraren erresistentziaren konbinazioagatik, silizio karburo zeramikazko estalduraren berogailuak eraginkortasun handiko eragiketa mantendu dezake denbora luzez prozesu gogorren baldintzetan, ekipoaren fidagarritasun orokorra nabarmen hobetuz.

Energiaren erabilera eraginkorra: Grafitoaren eroankortasun termiko altua eta SIC estalduraren tenperatura altuko egonkortasuna ahalbidetzen du berogailuak energia kontsumoa murrizteko tenperatura kontrolatzeko zehaztasuna hobetzeko, eta, horrela, ekoizpen erdieroalearen eraginkortasun orokorra hobetuz.

Oinarrizko propietate fisikoakSilikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailua:

Erdieroalea daSilikonaren karburo zeramikazko estaldura berogailuaren berogailuanegozioak:

Epitaxia industria kate erdieroalearen ikuspegi orokorra:

/ bestelako prozesua