Aluminio Nitruroa (AlN) Zeramikazko Chuck Elektrostatikoa

1.Abantailak

• Garbitasun handiko AlN zeramika ~ 180 W/m·K-ra arte eroankortasun termikoa duena, bero transferentzia eraginkorra eta tenperatura uniformetasunerako

• Isolamendu elektriko sendoa eta bolumen handiko erresistibitatea 1-3 kV-ko estutze egonkorra onartzen duena (tentsio altuagoak eskuragarri)

• Geruza dielektriko pertsonalizatuko materialak eta elektrodoen diseinuak: Coulomb edo Johnsen–Rahbek (JR); zona bakarrekoa edo anitzekoa

• Atxikitze eta desmuntatzeko errendimendu azkarra, normalean 0,1 segundo baino gutxiagokoa

• Azaleko zikinen mikroegiturak ~ 300 μm-ko diametroa dute, ukipen-eremua ~% 1era murriztuz.

• Lautasun-gaitasun handia; lautasun global tipikoa 0,5-3 μm PV 300 mm klaseko plataformetarako

• Mikroegitura trinkoa ia zero ura xurgatzen duena eta prozesu-inguruneetarako erresistentzia kimiko ona duena

2.Aplikazio tipikoak

Aluminio Nitruro Zeramikazko Mandril Elektrostatikoak obleen euste segurua eta portaera termiko kontrolatua eskatzen duten prozesu-urratsetan erabiltzen dira:

• Plasma lehorraren grabaketa (ICP / RIE) eta erlazionatutako ganbera-prozesuak

• CVD, PEALD, ALD termikoa eta gainontzeko film meheko deposizio-etapa

• Obleen tenperatura uniformea ​​behar duten erretiro eta prozesu termikoko moduluak

• Ikuskapen-, metrologia eta doitasun-etapak, non partikula baxua eta finkapen egonkorra funtsezkoak diren

3.AlN Materialen kalifikazioak - Propietate tipikoak

VeTek-ek Aluminio Nitruro-maila anitz eskaintzen ditu ESC diseinuetarako eroankortasun termikoa, erresistentzia mekanikoa eta kostua orekatzeko:

Unitateak: Eroankortasun termikoa W/(m·K); indar dielektrikoa kV/mm-tan; bolumen-erresistentzia Ω·cm-tan (25 °C); 1 MHz-ko konstante dielektrikoa. Balioak tipikoak dira eta alda daitezke prozesuen eta piezen geometriaren arabera.

4.ESC diseinu-parametro tipikoak

5.Zergatik ChooVeTek AlN Chucks elektrostatikoak?

VeTek Semiconductor-ek AlN zeramika aurreratuak integratzen ditu ESC doitasuneko fabrikazioarekin errendimendu termikoa eta finkapen fidagarria behar duten erdieroaleen bezeroentzat:

• AlN kalifikazio anitz ~90 eta ~180 W/m·K eroankortasun termikoarekin prozesuko aurrekontu termikoekin bat etortzeko

• Elektrodo malgua eta diseinu dielektrikoa Coulomb edo JR clamping portaerarako

• Lautasunaren, gainazaleko mikroegituraren eta isolamendu elektrikoaren errendimenduaren kontrol zorrotza

• Bizi-ziklo osoa laguntza: diseinua, eraikuntza berria eta maila anitzeko eraberritzea

Obleen tenperatura uniformearen eta tintze garbi eta errepikagarriaren araberakoak diren grabatu, deposizio eta erreminta termikoetarako, VeTek Aluminio Nitruro Zeramikazko Chucks elektrostatikoek errendimendu handiko zeramikazko plataforma bat eskaintzen dute aplikazioetan oinarritutako ingeniaritza euskarriarekin.