CVD tantalio karburoa (TaC) estalitako susceptor

Ezaugarri nagusiak

Aplikazioak

Aplikazio tipikoak honako hauek dira:

• SiC Hazkunde Epitaxiala

• GaN MOCVD Epitaxia

• AlN Hazkunde Epitaxiala

• Hirugarren Belaunaldiko Erdieroaleen Fabrikazioa

• Potentzia handiko Elektronika

• RF Gailuak

• MikroLED ekoizpena

• Ikerketa eta Ekoizpen Sistema Pilotuak

Ekipamendu bateragarriak

Plataforma bateragarriak hauek dira:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• CVD eta MOCVD erreaktore pertsonalizatuak

Era berean:

• Ostia-eramaileak

• Susceptor planetarioak

• Barril Susceptors

• Errotazio Diskoak

• Ilargi erdiko zatiak

• Estalkiak

• Grafitozko Asanbladak

• Eremu Termikoen Osagai pertsonalizatuak

Zehaztapen Teknikoak

Maiz egiten diren galderak

1. Zer da CVD TaC estalitako susceptor bat?

Garbitasun handiko grafitoaren osagaia, hazkuntza epitaxialean zehar obleen garraiolari gisa erabiltzen den CVD TaC estaldura trinko batez babestua.

2. Zergatik erabili TaC koaSiC estalduraren ordez?

TaC-k tenperatura erresistentzia handiagoa, egonkortasun kimiko handiagoa eta bizitza luzeagoa eskaintzen ditu.

3.Zein prozesu erdieroale erabiltzen duten TaC-cote suszeptoreak?

SiC epitaxia, GaN MOCVD, AlN epitaxia eta tenperatura altuko kristalen hazkuntza-prozesuak.

4. VETEK-ek suszeptore pertsonalizatuak fabrika ditzake?

Bai. Bezeroen marrazkietan eta prozesuen eskakizunetan oinarritutako diseinu pertsonalizatuak eskaintzen ditugu.

5. Zein erreaktore-markak onartzen dira?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare eta beste sistema nagusi batzuk.