Zenbat dakizu CVD sic-ri buruz? - Vetek erdieroalea

Cvd sic(Lurrunaren gordailu kimikoa Silicon Carbide) lurrunaren gordailu kimikoen bidez fabrikatutako silizio karburo handiko materiala da. Erdieroaleen prozesatzeko ekipoetan hainbat osagai eta estaldurarako erabiltzen da batez ere. CldSic materialaEgonkortasun termiko bikaina du, gogortasun handia, hedapen termiko baxuko koefizientea eta korrosio kimikoen erresistentzia bikaina, material aproposa bihurtuz muturreko prozesuetan erabiltzeko.

CldSIC materiala oso erabilia da tenperatura altua, ingurune korrosiboa eta estres mekaniko handia ditu erdieroaleen fabrikazio prozesuan.

Cvd sicOsorrakbatez ere produktu hauek barne

● Cvd sic estaldura

Erdieroaleen prozesatzeko ekipoetarako babes geruza gisa erabiltzen da substratua tenperatura altuarekin, korrosio kimikoarekin eta higadura mekanikoarekin kaltetuta.

● Sic wafer boat

Tenperatura handiko prozesuetan (hala nola, difusio eta epitaxial hazkundea) ogiak eramateko eta garraiatzeko erabiltzen da.

● SIC prozesuaren hodia

SIC prozesuko hodiak batez ere difusio labeetan eta oxidazio labeetan erabiltzen dira, silikoneko ogitartekoen erreakzio-ingurunea kontrolatzeko, materialen gordailu zehatza eta doping banaketa uniformea ​​bermatuz.

● Sic Cantilever Padel

Sic Cantilever Padelek batez ere silikonazko ogiak eramateko edo laguntzeko erabiltzen da difusio labeetan eta oxidazio labeetan, errodamendu-eginkizuna jotzen. Batez ere tenperatura handiko prozesuetan, hala nola, difusioa, oxidazioa, barneratzea eta abar, silikonazko ogien tratamendua eta muturreko inguruneetan tratamendu uniformea ​​bermatzen du.

● Cldsic dutxa burua

Plasma grabatzeko ekipoetan gas banaketa osagai gisa erabiltzen da, korrosioarekiko erresistentzia bikaina eta egonkortasun termikoa ditu, gasaren banaketa uniformea ​​eta grabaketa efektua bermatzeko.

● Sic estalitako sabaia

Ekipamendu erreakzioaren ganberako osagaiak, ekipoak tenperatura altuak eta gas korrosiboek kalteak babesteko erabiltzen dutenak, eta ekipamenduaren zerbitzuaren bizitza luzatzen dute.

● Silizio epitaxia suszeptoreak

Silizioaren hazkunde epitaxialen hazkunde prozesuetan erabiltzen diren operadoreak, arraunlarien berogailu uniformea ​​eta gordailuaren kalitatea bermatzeko.

Lurzoru kimikoen metatutako silizio karburoa (CVD SIC) aplikazio sorta zabala du erdieroaleen prozesuan, batez ere tenperatura altuak, korrosioa eta gogortasun handia duten gailuak eta osagaiak fabrikatzeko erabiltzen dena. 

Cvd sicOinarrizko rola hurrengo alderdietan islatzen da

✔ Tenperatura handiko inguruneetan estaldura babesgarriak

Funtzionatu: CVD SIC maiz erabiltzen da funtsezko osagaien estaldura erdieroaleen ekipoetan (hala nola suzeptore, erreakzio ganbera estaldurak, etab.). Osagai hauek tenperatura handiko inguruneetan lan egin behar dute, eta CVD SIC estaldurak egonkortasun termiko bikaina eman dezake tenperatura handiko kalteetatik substratua babesteko.

Abantailak: CVD SIC-ren urtze-puntua eta eroankortasun termiko bikaina bermatzen dute osagaiek denbora luzez tenperatura handiko baldintzetan lan egin dezaketela, ekipoen zerbitzuaren bizitza luzatuz.

✔ Korrosioaren aurkako aplikazioak

Funtzionatu: Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, CVD SIC estaldurak modu korrosiboen eta produktu kimikoen higadurari aurre egin diezaioke eta ekipoen eta gailuen osotasuna babesten du. Hori bereziki garrantzitsua da fluoruroak eta kloruroak bezalako gas korrosiboak kudeatzeko.

Abantailak: CVD SIC estaldura osagaien gainazalean gordeta, korrosioaren ondorioz sortutako ekipoen kalteak eta mantentze kostuak asko murriztu daitezke, eta ekoizpenaren eraginkortasuna hobetu daiteke.

✔ Indarra eta higadura erresistenteak diren aplikazioak

Funtzionatu: CVD SIC materiala ezaguna da bere gogortasun eta indar mekaniko handiko. Higadura erresistentzia eta zehaztasun altua behar duten osagaien erdieroaleetan oso erabilia da, esaterako, zigilu mekanikoak, karga-jasotako osagaiak eta abar. CVD Sic-ek estres horiei aurre egin diezaieke eta gailuaren bizitza luzea eta errendimendu egonkorra ziurtatu.

Abantailak: CVD SIC-k egindako osagaiek muturreko inguruneetan estres mekanikoa jasan dezakete, baita dimentsioaren egonkortasuna eta gainazala ere mantentzea epe luzerako erabileraren ondoren.

Aldi berean, CVD Sic-ek funtsezko eginkizuna duLED hazkunde epitaxiala, potentzia erdieroaleak eta bestelako zelaiak. Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, CVD SIC Substratuak normalean erabiltzen diraEPI Susceptors. Erosketa termiko bikainak eta egonkortasun kimiko bikainak hazitako geruza epituxialek kalitate eta koherentzia handiagoa dute. Gainera, CVD sic ere oso erabilia daPSS Etching eramaileak, Rtp wafer eramaileak, ICP Garraiolariaketa abar, laguntza egonkorra eta fidagarria eskaintzea erdieroaleen grabazioan, gailuaren errendimendua ziurtatzeko.

Vetek erdieroale teknologia Co., Ltd erdieroaleen industriarako estaldura material aurreratuen hornitzaile nagusia da. Gure enpresak industriarako garapenerako irtenbideetan oinarritzen da.

Produktuen eskaintza nagusiak CVD silizio karburoak (SIC) estaldurak, ontziratu gabeko sic, sic-koak eta garbitasun handiko sic-materialak dira, preheat grafitoaren suscory, appeat, tac estalitako desbideratze eraztuna, erdibana, ebakitzeko piezak eta abar.

Vetek erdieroalearen ardatz puntako teknologia eta produktuen garapenerako irtenbideak garatzen ditu erdieroaleen industriarako.Espero dugu Txinan zure epe luzeko bikotea izatea.