Produktuak
Sic ertza eraztuna

Sic ertza eraztuna

Vetekemicericeko purutasun handiko SIC ertzak, bereziki diseinatutako etiketa ekipoetarako bereziki diseinatuta dago, korrosioarekiko erresistentzia eta egonkortasun termikoa nabarmentzen dira, wafer errendimendua nabarmen hobetzen duena

Erdialdeko fabrikazioaren arloan, SIC ertzak, Wafer prozesatzeko ekipoen oinarrizko osagaiak, industria paisaia iraultzen ari dira beren propietate materialekin. Silizio karburo bakarreko kristal bakarrarekin egindako zehaztasun-osagai honen balioa ez da teknologia handiko edukietan soilik, baina baita fabrikatzaileei ekar diezaieketen errendimenduaren etekinak eta optimizazioaren hobekuntza garrantzitsuan.


SIC Ertzaren Eraztun Egiturazko Ezaugarriak


Silikonako karburo erkiak erantsitako osagaiak funtsezkoak dira grabaketa ekipoetan eta lurrunaren gordailu kimikoaren (CVD) metodoak prestatutako silizio karburo handiko materialak dira. Egitura anularreko diametroa 200-450 mm da normalean, eta lodiera 5-15mm-ko barruan kontrolatzen da, ezaugarri hauek ditu:

1.Egia Tolerantzia: tenperatura handiko 1500 ℃ jasan dezake

2. Plasma Egonkortasuna: konstante dielektrikoa 9.7, matxura tentsioa 3MV / cm

3. Zehaztasun geometrikoa: biribiltasun errorea ≤0.05mm, gainazal zakarra Ra <0,2μm


Fabrikazio prozesuan aurrerapausoa

Prestaketa prozesu modernoak hiru etapa hartzen ditu:

1. Matrix eratzea: Forming-en sakatze isostatikoak dentsitate uniformea bermatzen du

2. Tenperatura handiko sinterizatzea: DENSFICTION tratamendua 2100 ℃ atmosfera inerte batean

3. Azalera aldatzea: Nanoscale babes geruzak ioi erreaktiboen bidez (RIE) bidez eratzen dira. Azken ikerketek erakusten dute silikonazko karburo ertzetako bizitza% 3% boroz dopatua% 40 handitzen dela eta wafer kutsadura tasa 0,01ppm mailara murrizten da

Aplikazio eszenatokiak

Irrinplazitatea erakusten du 5NM azpitik dauden prozesuetan:

2. Garbitu gabeko uniformetasuna: ± 1,5eko tasa desbideratzea mantendu dezake wafer ertzean

3. Kutsadura kontrola: metalezko kutsadura% 92 murrizten du kuartzozko material tradizionalekin alderatuta

4. Mantentze zikloa: 1500 orduz funtziona dezake CF4 / O2 plasman


VetekemicIn-ek aurrerapauso bat lortu du SIC Ertzaren eraztunen etxeko ekoizpenean, kostu gastu asko aurreztu ditzaketenak. Ongi etorri gurekin harremanetan edozein unetan!


Hot Tags: Sic ertza eraztuna
Bidali kontsulta
Harremanetarako informazioa
Siliziozko karburozko estaldurari, tantaliozko karburozko estaldurari, grafito bereziari edo prezioen zerrendari buruzko kontsultak egiteko, utzi zure posta elektronikoa eta 24 orduko epean jarriko gara harremanetan.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept