Silizio karburo wafer chuck

Vetek erdieroaleak silizio karburoa Chuck-ek silikonazko karburo materialen propietate bikainak erabiltzen ditu ekoizpen erdieroalearen eskakizun zorrotzak betetzeko, batez ere doitasun eta fidagarritasun oso altuak behar dituen erdieroaleen prozesuan.

Erdieroaleen prozesamendu prozesuan,Silikonaren karburoaTenperatura altuko erresistentzia bikaina du (gehienez 1400 ºC-tan lan egin dezake), eroankortasun baxua (SICek eroankortasun nahiko baxua du, normalean 10 ^^-3S / M) eta hedapen termiko baxuko koefizientea (4.0 × 10 ^ inguru)^-6/ ° C), ezinbesteko eta garrantzitsua den materiala da, batez ere silizio karburoa Chuck fabrikatzeko egokia.

ZeharHazkunde epituxial prozesua, Material erdieroalearen geruza mehea substratu batean metatzen da, istilu absolutua nahigabea eskatzen du, zinemako deposizio geruza uniformeak eta kalitate handikoak bermatzeko. SIC Chuck-ek hori lortzen du hutsezko hutsean koherente bat sortuz, nahiz eta gabeziaren edozein mugimendu edo deformazio ekiditeko.

Silizio karburoaren wafer Chuck-ek, gainera, shock termikoarekiko erresistentzia bikaina eskaintzen du. Tenperatura aldaketa bizkorrak ohikoak dira erdieroaleen fabrikazioan, eta gorabehera horiek jasan ezin dituzten materialak pitzatu, okertu edo huts egin dezakete. Silizioko karburoak hedapen termikoaren koefiziente baxua du eta bere forma eta funtzioa mantendu ditzake tenperatura aldaketa zorrotzpean ere.

Gainera,epitaxia prozesuaaskotan gas erreaktiboak eta beste produktu kimiko korrosiboak dakartza. SIC Wafer Chuck-en inertasun kimikoek bermatzen dute ez dela ingurune gogor horien eraginik, bere errendimendua mantenduz eta bere zerbitzua bizitza luzatuz. Iraunkortasun kimiko honek Wafer Chuck ordezkatzeko maiztasuna ez ezik, produkzio-ziklo anitzen bidez produktuaren errendimendu koherentea bermatzen du, erdieroaleen fabrikazio prozesuaren eraginkortasun eta kostu-eraginkortasun orokorra hobetzen laguntzen du.

Vetek erdieroalea Txinan Silicon Carbide Wafer Chuck Chuck produktuen fabrikatzaile eta hornitzaile garrantzitsuena da. Chuck produktu mota desberdinak eman ditzakegu, esaterakoPorous sic zeramikazko chuck, Porotsu sic hutsean chuck, Zeramikazko hutsezko porotsuaetaTAC estalitako chucketa Vetek erdieroaleen etab. Erdieroaleen industriarako teknologia aurreratuak eta produktuen irtenbideak eskaintzeko konpromisoa hartu du. Espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.

SEM datuak CldSic film kristal egitura：

Vetek erdieroaleak silizio karburoen wafer chuck dendak：