Silizio karburo zeramikazko estaldura

Erdieroalea da Silizio karburo zeramikazko estalduraErrendimendu handiko estaldura oso gogorra eta higadurarekiko erresistentea den silizio karburoa (SIC) materiala da, eta horrek korrosio kimikoen erresistentzia bikaina eta tenperatura egonkortasun handia eskaintzen ditu. Ezaugarri horiek funtsezkoak dira erdieroaleen ekoizpenean, beraz, Silicon Carbide zeramikazko estaldura oso erabilia da fabrikazio ekipoen erdieroaleen funtsezko osagaietan.

Vetek erdieroaleen silizio karburoak zeramikazko estaldura berdina da, erdieroale ekoizpeneanhonela:

Ekipamenduaren iraunkortasuna hobetu: Silicon Carbide zeramikazko estaldurak gainazal babes bikaina eskaintzen du erdieroaleen fabrikaziorako ekipoetarako, oso gogortasun eta higadura erresistentziarekin. Batez ere tenperatura altuko inguruneetan, oso korrosiboki prozesu-inguruneetan, hala nola, lurrun kimikoen gordailuak (CVD), hala nola, silizio karburo-estaldura, hala nola, ekipamenduaren gainazalean kalteak eragin dezake higadura kimikoarengatik edo higadura fisikoaren ondorioz, eta, beraz, ohikoen zerbitzuaren bizitza luzatu eta mantentze-lanak murriztuz gero.

Prozesuen garbitasuna hobetu: Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, kutsadura txikiak produktuen akatsak sor ditzake. Silizio karburo zeramikazko estalduraren inertasun kimikoek muturreko baldintzetan egonkorrak izaten jarraitzea ahalbidetzen dute, materiala partikulak edo ezpurutasunak askatzea eragotzi eta prozesuan zehar ingurunearen garbitasuna ziurtatzea. Hori bereziki garrantzitsua da zehaztasun handia eta garbitasun handia behar duten fabrikazio urratsetarako, hala nola PECVD eta ioi inplantazioa.

Kudeaketa termikoa optimizatu: Tenperatura handiko erdieroaleen prozesamenduan, hala nola, prozesamendu termiko azkarra (RTP) eta oxidazio prozesuak, silizio karburo zeramikazko estalduraren eroankortasun termiko altuak ekipamenduaren barruan tenperatura banaketa uniformea ​​ahalbidetzen du. Honek tenperatura gorabeheren ondorioz sortutako estres termikoa eta deformazio materiala murrizten laguntzen du, eta horrela, produktuak fabrikatzeko zehaztasuna eta koherentzia hobetzen ditu.

Prozesu konplexuaren ingurunea: Giro kontrola konplexua eskatzen duten prozesuetan, hala nola, ICP grabaketa eta PSS grabaketa prozesuak, Silicon Carbide zeramikazko estalduraren berogailuaren egonkortasuna eta oxidazioarekiko erresistentziak epe luzeko funtzionamenduan ekipamenduaren errendimendu egonkorra bermatzen du, ingurumen aldaketengatik material degradazio edo ekipoen kalteak murriztuz.

Erdieroalea daErrendimendu handiko fabrikazioan eta hornidura ardatz duSilizio karburo zeramikazko estalduraeta teknologia aurreratuak eta produktuen soluzioak eskaintzeko konpromisoa hartzen du erdieroaleen industriarako.Espero dugu Txinan zure epe luzerako bikotea izatea.

Oinarrizko propietate fisikoakSilizio karburo zeramikazko estaldura:

Vetek erdieroaleak silizio karburo zeramikazko saltokiak:

Epitaxia industria kate erdieroalearen ikuspegi orokorra: