CVD SIC Estaldura Berokuntza Elementua

CVD Sic Estaldura Berokuntza Elementua PVDan (lurrunaren gordailu fisikoa) ekipamenduan erabiltzen da. Lurruntze prozesuan, materiala berotzen da lurruntzea edo sputtering lortzeko, eta azkenik, film mehe uniformea ​​substratuan eratzen da.

ⅠAplikazio espezifikoa

Zinema metalikoaren deposizioa: CVD SIC estaldura berogailu elementua lurruntze iturri edo sputtering iturrian erabiltzen da. Berogailuaren bidez, elementuak tenperatura altuan metatzeko materiala berotzen du, bere atomoak edo molekulak materialaren azaletik bereizteko, lurruna edo plasma eratuz. Berogailuaren oinarritutako elementua SIC estaldura ere zuzenean metalezko edo zeramikazko material batzuk berotu daitezke, PVD prozesuan material iturri gisa erabiltzeko. Egiturak zirrikitu kontzentrikoak dituelako, hobeto kontrolatu dezake uneko bidea eta bero banaketa berogailuaren uniformetasuna bermatzeko.

Lurruntze PVD prozesuaren diagrama eskematikoa

ⅡLan printzipio

Berokuntza erresistenteak, oraingoa SIC berogailuaren erresistentzia-bidetik igarotzen denean, Joule beroa sortzen da, eta, beraz, berogailuaren eragina lortuko da. Egitura kontzentrikoak korrontea modu berdinean banatzea ahalbidetzen du. Tenperaturaren kontrol gailua normalean tenperatura kontrolatzeko eta doitzeko elementuarekin konektatuta dago.

ⅢDiseinu materiala eta egiturala

CVD SIC estaldura berogailua garbitasun handiko grafitoz eta SIC estalduraz egina dago, tenperatura altuko inguruneari aurre egiteko. Garbitasun handiko grafitoa oso erabilia da eremu termikoko material gisa. Estaldura geruza bat grafitoaren gainazalean CVD metodoaren arabera aplikatu ondoren, tenperatura altuko egonkortasuna, korrosioarekiko erresistentzia, eraginkortasun termikoa eta bestelako ezaugarriak hobetzen dira.

Zirrikitu kontzentrikoen diseinuak korronteak diskoaren gainazalean begizta uniformea ​​osatzea ahalbidetzen du. Bero-banaketa uniformea ​​lortzen du, tokiko kontzentrazioak eragindako berotzeak ekiditen ditu, egungo kontzentrazioak eragindako bero-galera gehigarria murrizten du eta, beraz, berokuntza eraginkortasuna hobetzen du.

CVD SIC estaldura berotzeko elementua bi hankaz eta gorputz batez osatuta dago. Hanka bakoitzak hari hornidurarekin lotzen duen haria du. Vetek erdieroaleek pieza bakarreko piezak edo zatiak zatitu ditzakete, hau da, hankak eta gorputza bereizita egiten dira eta gero muntatu dira. Ez dio axola zer baldintza dituzu CVD SIC estalitako berogailurako, kontsultatu gaitzazu. VetekesMi behar dituzun produktuak eman ditzake.

CVD SIC estalduraren oinarrizko propietate fisikoak: