TAC estaldura azpimultzoa

Vetek erdieroalearen TAC estalitako susmoa etaTAC estalitaeraztunLpe Silicon Carbide-ko hazkunde epitaxialen erreaktoreetan lan egin:

● Tenperatura handiko erresistentzia:TAC estalduraSusceptor tenperatura altuko erresistentzia bikaina du, muturreko tenperaturak 1500 ºC-ko tenperatura jasateko gai daLPE erreaktorea. Horrek ekipamenduak eta osagaiak ez ditu epe luzeko funtzionamenduan zehar deformatu edo kaltetzen.

● Egonkortasun kimikoa: TAC estalduraren suszeptoreak oso ondo egiten du silizio karburismoaren hazkunde ingurune korrosiboan, modu eraginkorrean erreaktoreen osagaiak eraso kimiko korrosiboetatik babesteko modu eraginkorrean.

● Egonkortasun termikoa: TAC estalduraren susmoak egonkortasun termiko ona du, gainazalaren morfologia eta zakarra mantentzen ditu erreaktorearen tenperatura-eremuaren uniformetasuna, silizio karburoaren geruza epituxialen kalitate handiko hazkuntzarako onuragarria den.

● Kutsadura anti: TAC estalitako leuna eta goi mailako TPD (tenperatura programatutako desorpea) errendimenduak erreaktorearen barruan partikulak eta ezpurutasunak metaketa eta adsorzioa gutxitu ditzake, geruza epituxialen kutsadura saihesteko.

Laburbilduz, TAC estalitako suszeptoreak eta eraztunak babes-eginkizun kritikoa dute LPE silizio karburoaren hazkunde epitaxialen erreaktorean, epe luzeko ekipamenduaren funtzionamendu egonkorra eta epituxial geruzaren kalitate handiko hazkundea bermatuz.