CVD Silizio Karburoa (SiC) Estalitako Grafitoa RTP RTA Eramailea

Produktuaren Ezaugarriak

· Oinarrizko ekipamendua:The Rapid Thermal Annealing (RTA) eta Rapid Thermal Processing (RTP) sistemetarako diseinatua.

· Primary Aaplikazioa: Erdieroaleen obleak erretiratzeko prozesuetarako optimizatua.

· Opebalorazioa Tetenperatura:Funtzionamendu egonkorra 200°C-tik 700°C-ra.

· Excelent Thermal-uniformitatea: Beroaren banaketa uniformea ​​bermatzen du obleak koherenteki prozesatzeko.

· Partikula baxuaGsorkuntza: CVD SiC estaldura trinkoak kutsadura murrizten du eta ekoizpen etekina hobetzen du.

· Erresistentzia kimiko handia:Prozesu termikoetan oxidazio eta korrosiboko gasekiko erresistentea.

· Nabarmenag Termal Shock Erresistentzia: Egituraren osotasuna mantentzen du behin eta berriz berotze- eta hozte-ziklo azkarren bidez.

· Zerbitzu-bizitza luzea:Higadurari erresistentea den SiC estaldurak osagaien iraupena nabarmen luzatzen du eta mantentze-kostuak murrizten ditu.

· PertsonalizatuaFabrikazioa:Tamaina eta konfigurazio ezberdinetan eskuragarri dago RTP/RTA ekipo ezberdinekin bat etortzeko.

Zehaztapen Teknikoak

Aplikazioak

·Errekorte termiko azkarra (RTA)

· Prozesamendu termiko azkarra (RTP)

· Siliziozko obleen errekostea

· Dopantearen Aktibazioa

· Oxidazioa

· Zabalkundea

·Erdieroale Konposatuen Fabrikazioa

·MEMS fabrikazioa

·Potentzia Erdieroaleen Prozesamendua

Ohiko galderak

1. Zer da RTP/RTA Eramailea?

RTP/RTA Eramaile bat prozesatzeko termiko azkarreko eta errezifratze termiko azkarreko sistemetan erabiltzen den obleen euskarria da. Seguru eusten ditu erdieroaleen obleak, ziklo termiko osoan zehar bero-transferentzia uniformea ​​eskaintzen duen bitartean.

2. Zergatik hobesten da CVD SiC estaldura?

Grafito hutsarekin alderatuta, CVD SiC estaldurak oxidazio-erresistentzia handiagoa, partikulen sorrera txikiagoa, egonkortasun kimiko hobea eta bizitza nabarmen luzeagoa eskaintzen ditu.

3. VETEK-ek RTP/RTA eramaile pertsonalizatuak eskain ditzake?

Bai. VETEK-ek bezeroen marrazkietan oinarritutako RTP/RTA eramaile pertsonalizatuak eskaintzen ditu.