Garbitasun handiko kuartzo obleen eramailea

1. Ezaugarri nagusiak eta abantailak

• Garbitasun ultra-altuko kuartzo fusionatu dehidroxilatua (SiO₂ ≥ 99,999%), ppb mailan kontrolatutako ezpurutasun metalikoekin, obleen kutsadura gutxituz.

• Epe luzeko funtzionamendu-tenperatura 1100 °C arte; epe laburreko erresistentzia gailurra 1200 °C-ra arte

• Shock termikoen erresistentzia bikaina eta dimentsio-egonkortasuna tenperatura maiz egiten duten zikloetan

• Oxidazio-prozesuko gasen eta prozesu hezearen ohiko produktu kimikoen aurkako inertetasun kimiko handia (HF, H₂O₂, azido/alkaliak)

• Lautasun handiko eta zehaztasun-lurzoruko gainazala ertz biribilduekin, obleen euskarri uniformea ​​lortzeko eta ertzaren kalteak murrizteko

• Hutsean kanporatzea eta gainazaleko adsortzio baxua—zehaztasun hutseko prozesuetarako egokia

• Erabat pertsonalizagarriak diren egiturak: euskarri solidoak, zulatu/aireztaturiko diseinuak, kokapen-eginbide mailakatuak, kokapen-zuloak, puntu anitzeko euskarriak eta 2-12 hazbeteko obleen deformazio-kontrako diseinu lodituak.

2. Aplikazio tipikoak

Eramaile hauek obleek euskarri garbia eta dimentsioan egonkorra behar duten lekuetan erabiltzen dira, tenperatura altuetan edo kimika oldarkorrean:

• Difusio- eta errezistatzeko labeen karga

• PECVD eta LPCVD filmaren hazteko prozesuen euskarria

• Huts-ganbera eta tenperatura altuko prozesuko tresneria

• Lehortzeko eta heze-garbiketa ondorengo estazio-eramaileak

• SiC eta GaN potentzia-gailuen prozesamendu termikoa

• Substratu optoelektronikoak maneiatzeko eta laborategiko tresna termikoak

3. Funtsezko Parametro Teknikoak

• Oinarrizko materiala: erdieroale-mailako kuartzo fusionatu dehidroxilatua, SiO₂ ≥ 99,999%

• Obleen tamaina bateragarriak: 2, 4, 6, 8 eta 12 hazbeteko (Si, SiC, GaN, zafiroa)

• Gomendatutako tenperatura-tarte etengabea: -20 °C eta 1100 °C artean; epe laburreko gailurra 1200 °C gutxi gorabehera

• Fabrikazio ibilbidea: pieza bakarreko konformazioa, gainazaleko artezketa zehaztasuna, ertzak biribiltzea, estresa arintzeko errekostea eta azken garbiketa ultra-garbia.

• Eskuragarri dauden konfigurazioak: solidoa, aireztatua/zulatua, kokapen mailakatua, zulo-eredua eta guztiz pertsonalizatutako geometriak

• Errendimendu-fokua: garbitasun handia, egonkortasun termikoa, korrosioarekiko erresistentzia, gainazaleko lautasuna, desgaste baxua eta epe luzerako dimentsio-erretentzioa

• Pertsonalizazio esparrua: kanpoko dimentsioak, lodiera, euskarriaren geometria, zuloen diseinua eta bezeroen marrazkietan oinarritutako ezaugarri bereziak

4. Zergatik aukeratu VeTek purutasun handiko kuartzo obleak?

Erdieroaleen kuartzozko osagaien fabrikatzaile profesional gisa, VeTek Semiconductor-ek eskaintzen du:

• Garbitasun handiko kuartzo obleak ingurune termiko, hutsean eta prozesu hezeetarako diseinatuak

• Garbitasun-kontrol zorrotza, gainazaleko lautasuna eta garbitasuna egokiak erdieroaleen ekoizpen aurreratuetarako

• Pertsonalizazio osoa eta OEMekin bateragarriak diren diseinuak labe, ganbera eta prozesu-estazioko tresnetarako

• Erdieroaleen kuartzozko produktu osagarriak, labe-hodiak, obleak, arragoa eta prozesuko beste osagai batzuk barne.

Gure purutasun handiko kuartzo obleen euskarriek kontaktu termiko uniformea ​​mantentzen laguntzen dute, partikulen eta metalen kutsadura murrizten eta erreminten bizitza luzatzen dute tenperatura altuko eta prozesu korrosiboen etengabeko baldintzetan, erdieroaleen fabrikazioan errendimendu handiagoa eta jabetza-kostu txikiagoa onartzen dutenak.