Berriak

Silikonazko karburo (sic) kristal hazkunde labeek funtsezko eginkizuna dute errendimendu handiko SIC ogiak ekoizteko hurrengo belaunaldiko erdieroale gailuetarako. Hala ere, kalitate handiko SIC kristalek hazteko prozesuak erronka garrantzitsuak aurkezten ditu. Muturreko gradiente termikoak kristal akatsak murrizteko, hazkunde uniformea ​​bermatuz, eta ekoizpen kostuak kontrolatuz, urrats bakoitzak ingeniaritza irtenbide aurreratuak behar ditu. Artikulu honek ikuspegi anitzetatik sic kristal hazkuntzaren erronka teknikoak aztertuko ditu.

Ekintza adimenduna erdieroaleen fabrikazio prozesu aurreratua da, ioi inplantazioan eta wafer marraduren arabera, zehazki, 3C-SIC (kubiko silizio kubiko kubikoko karburoa) ekoizteko diseinatutakoa. Material ultra-meheak substratu batetik bestera transferitu ditzake, eta horrela, jatorrizko muga fisikoak hautsi eta substratu industria osoa aldatuz.

Kalitate handiko eta errendimendu handiko silizio karburo substratuak prestatzerakoan, muina ekoizpen tenperaturaren kontrol zehatza behar da eremu termiko onek. Gaur egun, eremu termikoak batez ere erabiltzen diren kit termikoak garbitasun handiko grafitoak dira.

Hirugarren belaunaldiko erdieroaleak ikusten dituzunean, ziur izango zara zein izan diren lehenengo eta bigarren belaunaldiak. Hemen "belaunaldia" erdieroaleen fabrikazioan erabilitako materialen arabera sailkatzen da.

Chuck elektrostatikoa (ESC), Chuck elektrostatikoa (ESC, E-Chuck) bezala ere ezaguna da, adsorzio elektrostatikoaren printzipioa erabiltzen duen eta adsorbatutako materiala konpontzeko eta konpontzeko. Hutsean eta plasma inguruneetarako egokia da.

SIC wafer eramaileak, hirugarren belaunaldiko erdieroaleen industriaren katearen kontsumitzaile gakoak, haien ezaugarri teknikoak hazkunde epituxialaren eta gailuaren fabrikazioaren errendimendua zuzenean eragiten dute. Tentsio handiko eta tenperatura altuko gailuen eskaera areagotzearekin 5g base geltokietan eta energia-ibilgailu berrietan, SIC wafer eramaileen ikerketa eta aplikazioa garapen aukera garrantzitsuei aurre egiten ari dira.